लिक्विड फेज एपिटॅक्सी एलपीईसाठी बॅरल ससेप्टर

लिक्विड फेज एपिटॅक्सी एलपीईसाठी बॅरल ससेप्टर

ईपीआय (एपिटॅक्सी)प्रगत सेमीकंडक्टरच्या निर्मितीमध्ये ही एक महत्त्वपूर्ण प्रक्रिया आहे. यामध्ये जटिल उपकरण संरचना तयार करण्यासाठी सब्सट्रेटवर पदार्थाचे पातळ थर जमा केले जातात. EPI साठी SiC लेपित ग्रॅफाइट बॅरल ससेप्टर त्यांच्या उत्कृष्ट औष्णिक वाहकतेमुळे आणि उच्च तापमानाला असलेल्या प्रतिकारशक्तीमुळे सामान्यतः EPI रिॲक्टरमध्ये ससेप्टर म्हणून वापरले जातात.सीव्हीडी-एसआयसी कोटिंगत्यामुळे ते दूषित होणे, झीज आणि औष्णिक धक्क्यांना अधिक प्रतिरोधक बनते. याचा परिणाम म्हणून ससेप्टरचे आयुष्यमान वाढते आणि फिल्मची गुणवत्ता सुधारते.

लिक्विड फेज एपिटॅक्सी (LPE) साठी आमच्या बॅरल ससेप्टरचे फायदे:
प्रदूषण कमी होणे:SiC चा निष्क्रिय स्वभाव अशुद्धींना ससेप्टरच्या पृष्ठभागावर चिकटण्यापासून रोखतो, ज्यामुळे जमा झालेल्या फिल्म्सच्या दूषित होण्याचा धोका कमी होतो.
वाढलेली धूप प्रतिकारशक्ती:पारंपरिक ग्रॅफाइटच्या तुलनेत एसआयसी (SiC) झिजेला लक्षणीयरीत्या अधिक प्रतिरोधक आहे, ज्यामुळे ससेप्टरचे आयुष्यमान वाढते.
सुधारित औष्णिक स्थिरता:SiC मध्ये उत्कृष्ट औष्णिक वाहकता असते आणि ते लक्षणीय विकृतीशिवाय उच्च तापमान सहन करू शकते.
सुधारित चित्रपट गुणवत्ता:सुधारलेली औष्णिक स्थिरता आणि कमी झालेले प्रदूषण यामुळे सुधारित एकसमानता आणि जाडी नियंत्रणासह उच्च-गुणवत्तेचे निक्षेपित थर तयार होतात.