লিকুইড ফেজ এপিটাক্সি এলপিই এর জন্য ব্যারেল সাসেপ্টর

লিকুইড ফেজ এপিটাক্সি এলপিই এর জন্য ব্যারেল সাসেপ্টর

ইপিআই (এপিট্যাক্সি)উন্নত সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনের ক্ষেত্রে এটি একটি অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ প্রক্রিয়া। এর মাধ্যমে জটিল ডিভাইস কাঠামো তৈরি করার জন্য একটি সাবস্ট্রেটের উপর পদার্থের পাতলা স্তর জমা করা হয়। চমৎকার তাপ পরিবাহিতা এবং উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধের ক্ষমতার কারণে, EPI রিঅ্যাক্টরে সাসসেপ্টর হিসেবে সাধারণত SiC প্রলেপযুক্ত গ্রাফাইট ব্যারেল সাসসেপ্টর ব্যবহার করা হয়।CVD-SiC আবরণএর ফলে এটি দূষণ, ক্ষয় এবং তাপীয় অভিঘাতের বিরুদ্ধে আরও বেশি প্রতিরোধী হয়ে ওঠে। এর ফলস্বরূপ সাসসেপ্টরের আয়ুষ্কাল দীর্ঘ হয় এবং ফিল্মের গুণমান উন্নত হয়।

লিকুইড ফেজ এপিট্যাক্সি (LPE)-এর জন্য আমাদের ব্যারেল সাসসেপ্টরের সুবিধাসমূহ:
দূষণ হ্রাস:SiC-এর নিষ্ক্রিয় প্রকৃতি সাসসেপ্টরের পৃষ্ঠে অশুদ্ধি লেগে থাকতে বাধা দেয়, ফলে জমা হওয়া ফিল্ম দূষিত হওয়ার ঝুঁকি কমে যায়।
বর্ধিত ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা:প্রচলিত গ্রাফাইটের তুলনায় SiC ক্ষয় প্রতিরোধী হওয়ায় সাসসেপ্টরের আয়ুষ্কাল দীর্ঘ হয়।
উন্নত তাপীয় স্থিতিশীলতা:SiC-এর তাপ পরিবাহিতা চমৎকার এবং এটি উল্লেখযোগ্য বিকৃতি ছাড়াই উচ্চ তাপমাত্রা সহ্য করতে পারে।
উন্নত ফিল্ম কোয়ালিটি:উন্নত তাপীয় স্থিতিশীলতা এবং হ্রাসকৃত দূষণের ফলে উন্নততর সমরূপতা ও পুরুত্ব নিয়ন্ত্রণসহ উচ্চ-মানের জমা হওয়া ফিল্ম তৈরি হয়।