Susceptor de barril para epitaxia en fase líquida LPE

Susceptor de barril para epitaxia en fase líquida LPE

EPI (Epitaxia)es un proceso crítico en la fabricación de semiconductores avanzados. Implica la deposición de capas delgadas de material sobre un sustrato para crear estructuras de dispositivos complejas. Los susceptores de barril de grafito recubiertos de SiC para EPI se utilizan comúnmente como susceptores en reactores EPI debido a su excelente conductividad térmica y resistencia a altas temperaturas. ConRecubrimiento de SiC CVDSe vuelve más resistente a la contaminación, la erosión y el choque térmico. Esto se traduce en una mayor vida útil del susceptor y una mejor calidad de la película.

Ventajas de nuestro susceptor cilíndrico para epitaxia en fase líquida (LPE):
Contaminación reducida:La naturaleza inerte del SiC impide que las impurezas se adhieran a la superficie del susceptor, reduciendo así el riesgo de contaminación de las películas depositadas.
Mayor resistencia a la erosión:El SiC es significativamente más resistente a la erosión que el grafito convencional, lo que conlleva una mayor vida útil del susceptor.
Estabilidad térmica mejorada:El SiC tiene una excelente conductividad térmica y puede soportar altas temperaturas sin una deformación significativa.
Calidad de película mejorada:La mayor estabilidad térmica y la menor contaminación dan como resultado películas depositadas de mayor calidad, con una uniformidad y un control del espesor mejorados.