Barril Susceptor fase likidoaren epitaxia LPErako

Fase likidoko LPE epitaxirako upel suszeptorea

EPI (Epitaxia)erdieroale aurreratuen fabrikazioan prozesu kritikoa da. Material geruza meheak substratu batean jartzea dakar, gailu-egitura konplexuak sortzeko. EPIrako SiC estalitako grafitozko upel suszeptoreak normalean EPI erreaktoreetan suszeptore gisa erabiltzen dira, eroankortasun termiko bikaina eta tenperatura altuekiko erresistentzia dutelako. HonekinCVD-SiC estaldura, kutsaduraren, higaduraren eta kolpe termikoaren aurrean erresistenteagoa bihurtzen da. Horrek suszeptorearen bizitza luzeagoa eta filmaren kalitatea hobetzea dakar.

Gure upel-suszeptorearen abantailak fase likidoko epitaxia LPErako:
Kutsadura murriztua:SiC-ren izaera inerteak ezpurutasunak suszeptorearen gainazalean itsastea eragozten du, eta, ondorioz, metatutako filmen kutsadura arriskua murriztu egiten du.
Higaduraren aurkako erresistentzia handiagoa:SiC grafito konbentzionala baino askoz erresistenteagoa da higadurarekiko, eta horrek suszeptorearen bizitza luzeagoa dakar.
Egonkortasun termiko hobetua:SiC-k eroankortasun termiko bikaina du eta tenperatura altuak jasan ditzake distortsio nabarmenik gabe.
Filmaren kalitate hobetua:Hobetutako egonkortasun termikoak eta kutsadura murriztuak kalitate handiagoko metatutako filmak sortzen dituzte, uniformetasun eta lodiera kontrol hobeagoarekin.