Susceptor Bairille Do Chéim Leachtach Epitaxy LPE

Gabhdóir bairille le haghaidh LPE epitaxy céim leachta

EPI (Eipitacs)Is próiseas ríthábhachtach é i ndéantúsaíocht leathsheoltóirí ardleibhéil. Baineann sé le sraitheanna tanaí ábhair a thaisceadh ar foshraith chun struchtúir ghléasanna casta a chruthú. Úsáidtear gabhdóirí bairille graifíte atá brataithe le SiC le haghaidh EPI go coitianta mar ghabhdóirí in imoibritheoirí EPI mar gheall ar a seoltacht theirmeach den scoth agus a bhfriotaíocht in aghaidh teochtaí arda. LeSciath CVD-SiC, bíonn sé níos frithsheasmhaí in aghaidh éillithe, creimeadh, agus turraing theirmeach. Mar thoradh air sin, maireann an gabhdóir níos faide agus feabhsaítear cáilíocht an scannáin.

Buntáistí ár ngabhdóir bairille le haghaidh eipitacsas céim leachtach LPE:
Éilliú Laghdaithe:Cuireann nádúr támh SiC cosc ​​ar eisíontais cloí le dromchla an ghabhdóra, rud a laghdaíonn an baol éillithe sna scannáin taiscthe.
Friotaíocht Mhéadaithe in aghaidh Creimeadh:Tá SiC i bhfad níos frithsheasmhaí in aghaidh creimeadh ná graifít thraidisiúnta, rud a fhágann go maireann an gabhdóir níos faide.
Cobhsaíocht theirmeach fheabhsaithe:Tá seoltacht theirmeach den scoth ag SiC agus is féidir leis teocht ard a sheasamh gan saobhadh suntasach.
Cáilíocht Scannán Feabhsaithe:Mar thoradh ar an gcobhsaíocht theirmeach fheabhsaithe agus an éilliú laghdaithe, tá scannáin taiscthe ar chaighdeán níos airde ann le haonfhoirmeacht agus rialú tiús feabhsaithe.