Barrel Susceptor For Liquid Phase Epitaxy LPE

Υποδοχέας βαρελιού για επιταξία υγρής φάσης LPE

EPI (Επιταξία)είναι μια κρίσιμη διαδικασία στην κατασκευή προηγμένων ημιαγωγών. Περιλαμβάνει την εναπόθεση λεπτών στρωμάτων υλικού σε ένα υπόστρωμα για τη δημιουργία σύνθετων δομών συσκευών. Οι επιδέκτες βαρελιών γραφίτη με επικάλυψη SiC για EPI χρησιμοποιούνται συνήθως ως επιδέκτες σε αντιδραστήρες EPI λόγω της εξαιρετικής θερμικής αγωγιμότητάς τους και της αντοχής τους σε υψηλές θερμοκρασίες. ΜεΕπίστρωση CVD-SiC, γίνεται πιο ανθεκτικό στη μόλυνση, τη διάβρωση και το θερμικό σοκ. Αυτό έχει ως αποτέλεσμα μεγαλύτερη διάρκεια ζωής για τον ευαίσθητο ηθμό και βελτιωμένη ποιότητα φιλμ.

Πλεονεκτήματα του υποδοχέα βαρελιού μας για επιταξία LPE υγρής φάσης:
Μειωμένη μόλυνση:Η αδρανής φύση του SiC εμποδίζει την προσκόλληση ακαθαρσιών στην επιφάνεια του δεκτικού, μειώνοντας τον κίνδυνο μόλυνσης των εναποτιθέμενων μεμβρανών.
Αυξημένη αντοχή στη διάβρωση:Το SiC είναι σημαντικά πιο ανθεκτικό στη διάβρωση από τον συμβατικό γραφίτη, γεγονός που οδηγεί σε μεγαλύτερη διάρκεια ζωής του δέκτη.
Βελτιωμένη θερμική σταθερότητα:Το SiC έχει εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα και μπορεί να αντέξει σε υψηλές θερμοκρασίες χωρίς σημαντική παραμόρφωση.
Βελτιωμένη ποιότητα φιλμ:Η βελτιωμένη θερμική σταθερότητα και η μειωμένη μόλυνση έχουν ως αποτέλεσμα εναποτιθέμενες μεμβράνες υψηλότερης ποιότητας με βελτιωμένη ομοιομορφία και έλεγχο του πάχους.