Barrel Susceptor No Liquid Phase Epitaxy LPE

ʻO ka mea hoʻohana i ka pahu wai no ka epitaxy LPE

EPI (Epitaxy)he hana koʻikoʻi ia i ka hana ʻana o nā semiconductors holomua. Pili ia i ka waiho ʻana o nā papa lahilahi o ka mea ma luna o kahi substrate e hana i nā ʻano hana paʻakikī. Hoʻohana pinepine ʻia ka SiC coated graphite barrel susceptor no EPI ma ke ʻano he susceptors i nā reactors EPI ma muli o ko lākou conductivity thermal maikaʻi loa a me ke kūʻē ʻana i nā mahana kiʻekiʻe. MeKa uhi ʻana o CVD-SiC, lilo ia i mea kūpaʻa i ka haumia, ka ʻino, a me ka haʻalulu wela. ʻO ka hopena kēia i kahi ola lōʻihi no ka susceptor a me ka maikaʻi o ke kiʻiʻoniʻoni.

Nā pōmaikaʻi o kā mākou mea hoʻopaʻa pahu no ka epitaxy pae wai LPE:
Hoʻemi ʻia ka haumia:ʻO ke ʻano inert o SiC e pale aku i nā mea haumia mai ka pipili ʻana i ka ʻili susceptor, e hōʻemi ana i ka pilikia o ka haumia ʻana o nā kiʻiʻoniʻoni i waiho ʻia.
Hoʻonui ʻia ke kū'ē ʻana i ka ʻino:ʻOi aku ka paʻa o ka SiC i ka ʻino ma mua o ka graphite maʻamau, e alakaʻi ana i ke ola lōʻihi no ka susceptor.
Hoʻomaikaʻi ʻia ke kūpaʻa wela:Loaʻa iā SiC ka conductivity thermal maikaʻi loa a hiki ke kū i nā mahana kiʻekiʻe me ka ʻole o ka hoʻopilikia nui.
Hoʻonui ʻia ka maikaʻi o ke kiʻiʻoniʻoni:ʻO ka hoʻomaikaʻi ʻana o ke kūpaʻa wela a me ka hoʻemi ʻana o ka haumia e hopena i nā ʻiliʻili i waiho ʻia me ke ʻano kiʻekiʻe me ka hoʻomaikaʻi ʻana i ke ʻano like a me ka kaohi mānoanoa.