तरल चरण एपिटैक्सी एलपीई के लिए बैरल ससेप्टर

तरल चरण एपिटेक्सी एलपीई के लिए बैरल सुसेप्टर

ईपीआई (एपिटैक्सी)उन्नत अर्धचालकों के निर्माण में यह एक महत्वपूर्ण प्रक्रिया है। इसमें जटिल उपकरण संरचनाओं के निर्माण के लिए एक सब्सट्रेट पर सामग्री की पतली परतें जमा करना शामिल है। ईपीआई रिएक्टरों में उत्कृष्ट तापीय चालकता और उच्च तापमान प्रतिरोध के कारण, ईपीआई के लिए SiC लेपित ग्रेफाइट बैरल ससेप्टर का उपयोग आमतौर पर किया जाता है।सीवीडी-एसआईसी कोटिंगइसके परिणामस्वरूप, यह संदूषण, क्षरण और ऊष्मीय झटकों के प्रति अधिक प्रतिरोधी हो जाता है। इससे संवेदक का जीवनकाल लंबा होता है और फिल्म की गुणवत्ता में सुधार होता है।

लिक्विड फेज एपिटैक्सी (एलपीई) के लिए हमारे बैरल ससेप्टर के फायदे:
संदूषण में कमी:SiC की निष्क्रिय प्रकृति अशुद्धियों को संवेदक सतह से चिपकने से रोकती है, जिससे जमा की गई फिल्मों के संदूषण का खतरा कम हो जाता है।
बढ़ी हुई अपरदन प्रतिरोधकता:SiC पारंपरिक ग्रेफाइट की तुलना में क्षरण के प्रति काफी अधिक प्रतिरोधी है, जिससे संवेदक का जीवनकाल लंबा होता है।
बेहतर तापीय स्थिरता:SiC में उत्कृष्ट तापीय चालकता होती है और यह महत्वपूर्ण विकृति के बिना उच्च तापमान को सहन कर सकता है।
बेहतर फिल्म गुणवत्ता:बेहतर तापीय स्थिरता और कम संदूषण के परिणामस्वरूप बेहतर एकरूपता और मोटाई नियंत्रण के साथ उच्च गुणवत्ता वाली जमा फिल्में प्राप्त होती हैं।