Suscepteur de baril pour épitaxie en phase liquide LPE

Suscepteur tonneau pour épitaxie en phase liquide LPE

EPI (Épitaxie)L'électrophorèse capillaire (EPI) est un procédé essentiel à la fabrication des semi-conducteurs avancés. Elle consiste à déposer de fines couches de matériau sur un substrat afin de créer des structures de dispositifs complexes. Les suscepteurs en graphite revêtus de SiC pour EPI sont couramment utilisés dans les réacteurs EPI en raison de leur excellente conductivité thermique et de leur résistance aux hautes températures.revêtement CVD-SiCIl devient ainsi plus résistant à la contamination, à l'érosion et aux chocs thermiques. Il en résulte une durée de vie plus longue pour le suscepteur et une meilleure qualité du film.

Avantages de notre suscepteur cylindrique pour l'épitaxie en phase liquide (LPE) :
Contamination réduite :La nature inerte du SiC empêche les impuretés d'adhérer à la surface du suscepteur, réduisant ainsi le risque de contamination des films déposés.
Résistance accrue à l'érosion :Le SiC est nettement plus résistant à l'érosion que le graphite conventionnel, ce qui prolonge la durée de vie du suscepteur.
Stabilité thermique améliorée :Le SiC possède une excellente conductivité thermique et peut résister à des températures élevées sans déformation significative.
Qualité d'image améliorée :L'amélioration de la stabilité thermique et la réduction de la contamination permettent d'obtenir des films déposés de meilleure qualité, avec une uniformité et un contrôle d'épaisseur améliorés.