Susceptor beczkowy do epitaksji w fazie ciekłej LPE

Krótki opis:

VET Energy to profesjonalny producent, dostawca i eksporter susceptorów lufowych do epitaksji w fazie ciekłej LPE. Dzięki wsparciu krajowych ośrodków badawczych i wiodącej technologii, VET Energy może zapewnić Państwu wysoką jakość w rozsądnych cenach. Zapraszamy do odwiedzenia naszej fabryki w celu dalszej dyskusji.


Szczegóły produktu

Tagi produktów

Susceptor beczkowy do epitaksji w fazie ciekłej LPE

EPI (Epitaksja)to kluczowy proces w produkcji zaawansowanych półprzewodników. Polega on na nanoszeniu cienkich warstw materiału na podłoże w celu tworzenia złożonych struktur urządzeń. Susceptory grafitowe z powłoką SiC do reaktorów EPI są powszechnie stosowane jako susceptory w reaktorach EPI ze względu na ich doskonałą przewodność cieplną i odporność na wysokie temperatury.Powłoka CVD-SiC, staje się bardziej odporny na zanieczyszczenia, erozję i szok termiczny. Przekłada się to na dłuższą żywotność susceptora i lepszą jakość folii.

Zalety naszego susceptora beczkowego do epitaksji w fazie ciekłej LPE:
Zmniejszone zanieczyszczenie:Obojętny charakter SiC zapobiega przyleganiu zanieczyszczeń do powierzchni susceptora, co zmniejsza ryzyko zanieczyszczenia osadzonych warstw.
Zwiększona odporność na erozję:SiC jest znacznie bardziej odporny na erozję niż konwencjonalny grafit, co przekłada się na dłuższą żywotność susceptora.
Poprawiona stabilność termiczna:SiC charakteryzuje się doskonałą przewodnością cieplną i może wytrzymać wysokie temperatury bez znacznych odkształceń.
Lepsza jakość filmu:Poprawiona stabilność termiczna i mniejsze zanieczyszczenie skutkują uzyskaniem osadzonych warstw o ​​wyższej jakości, lepszej jednorodności i kontroli grubości.

Susceptor beczki

1

2

 

Informacje o firmie

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd to przedsiębiorstwo high-tech, którego działalność skupia się na produkcji i sprzedaży zaawansowanych materiałów najwyższej jakości, w tym grafitu, węglika krzemu, ceramiki, obróbki powierzchni, np. powłoki SiC, powłoki TaC, powłoki z węgla szklistego, powłoki z węgla pirolitycznego itp. Produkty te są szeroko stosowane w fotowoltaice, półprzewodnikach, nowych źródłach energii, metalurgii itp.

Nasz zespół techniczny składa się z pracowników czołowych krajowych instytutów badawczych i opracował wiele opatentowanych technologii gwarantujących wydajność i jakość produktów. Możemy także zapewnić klientom profesjonalne rozwiązania materiałowe.

Serdecznie zapraszamy do odwiedzenia naszego laboratorium i zakładu, do dyskusji technicznych i nawiązania współpracy!

生产设备

公司客户

 

 


  • Poprzedni:
  • Następny:

  • Czat online WhatsApp!