Suscettore di barile per l'epitassia in fase liquida LPE

Suscettore di canna per epitassi in fase liquida LPE

EPI (Epitassia)hè un prucessu criticu in a fabricazione di semiconduttori avanzati. Implica a deposizione di strati fini di materiale nantu à un substratu per creà strutture di dispositivi cumplessi. I suscettori di barile di grafite rivestiti di SiC per EPI sò cumunemente usati cum'è suscettori in i reattori EPI per via di a so eccellente conducibilità termica è resistenza à alte temperature. CùRivestimentu CVD-SiC, diventa più resistente à a contaminazione, à l'erosione è à i shock termichi. Questu si traduce in una durata di vita più longa per u suscettore è una migliore qualità di u film.

Vantaghji di u nostru suscettore di canna per l'epitassia in fase liquida LPE:
Cuntaminazione ridutta:A natura inerte di u SiC impedisce à l'impurità di aderisce à a superficia di u suscettore, riducendu u risicu di contaminazione di i filmi depositati.
Resistenza aumentata à l'erosione:U SiC hè significativamente più resistente à l'erosione chè a grafite convenzionale, ciò chì porta à una durata di vita più longa per u suscettore.
Stabilità termica migliorata:U SiC hà una eccellente cunduttività termica è pò sustene temperature elevate senza distorsioni significative.
Qualità di film migliorata:A stabilità termica migliorata è a contaminazione ridotta risultanu in filmi depositati di qualità superiore cù una uniformità è un cuntrollu di spessore migliorati.