ତରଳ ପର୍ଯ୍ୟାୟ ଏପିଟାକ୍ସି LPE ପାଇଁ ବ୍ୟାରେଲ୍ ସସେପ୍ଟର୍ |

ତରଳ ପର୍ଯ୍ୟାୟ ଏପିଟାକ୍ସି LPE ପାଇଁ ବ୍ୟାରେଲ୍ ସସେପ୍ଟର୍ |

EPI (ଏପିଟାକ୍ସି)ଉନ୍ନତ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଯନ୍ତ୍ର ନିର୍ମାଣରେ ଏହା ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା। ଏଥିରେ ଜଟିଳ ଉପକରଣ ଗଠନ ସୃଷ୍ଟି କରିବା ପାଇଁ ଏକ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ସାମଗ୍ରୀର ପତଳା ସ୍ତର ଜମା କରାଯାଇଥାଏ। EPI ପାଇଁ SiC ଆବୃତ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ବ୍ୟାରେଲ୍ ସସେପ୍ଟର ସାଧାରଣତଃ EPI ରିଆକ୍ଟରରେ ସସେପ୍ଟର ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ କାରଣ ସେମାନଙ୍କର ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ତାପଜ ପରିବାହିତା ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ପ୍ରତି ପ୍ରତିରୋଧ। ସହିତCVD-SiC ଆବରଣ, ଏହା ପ୍ରଦୂଷଣ, କ୍ଷୟ ଏବଂ ତାପଜ ଆଘାତ ପ୍ରତି ଅଧିକ ପ୍ରତିରୋଧୀ ହୋଇଯାଏ। ଏହା ସସେପ୍ଟରର ଜୀବନକାଳ ବୃଦ୍ଧି କରେ ଏବଂ ଫିଲ୍ମ ଗୁଣବତ୍ତା ଉନ୍ନତ କରେ।

ତରଳ ପର୍ଯ୍ୟାୟ ଏପିଟାକ୍ସି LPE ପାଇଁ ଆମର ବ୍ୟାରେଲ ସସେପ୍ଟରର ସୁବିଧା:
ହ୍ରାସିତ ପ୍ରଦୂଷଣ:SiC ର ଜଡ଼ ପ୍ରକୃତି ଅଶୁଦ୍ଧତାକୁ ସସେପ୍ଟର ପୃଷ୍ଠରେ ଲାଗି ରହିବାରୁ ରୋକିଥାଏ, ଯାହା ଜମା ହୋଇଥିବା ଫିଲ୍ମଗୁଡ଼ିକର ପ୍ରଦୂଷଣର ଆଶଙ୍କାକୁ ହ୍ରାସ କରିଥାଏ।
ବର୍ଦ୍ଧିତ କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧ:ପାରମ୍ପରିକ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ତୁଳନାରେ SiC କ୍ଷୟ ପ୍ରତି ଯଥେଷ୍ଟ ଅଧିକ ପ୍ରତିରୋଧୀ, ଯାହା ସସେପ୍ଟରର ଜୀବନକାଳକୁ ଅଧିକ କରିଥାଏ।
ଉନ୍ନତ ତାପଜ ସ୍ଥିରତା:SiC ର ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ତାପଜ ପରିବାହିତା ଅଛି ଏବଂ ଏହା ଉଲ୍ଲେଖନୀୟ ବିକୃତି ବିନା ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାକୁ ସହ୍ୟ କରିପାରେ।
ଉନ୍ନତ ଫିଲ୍ମ ଗୁଣବତ୍ତା:ଉନ୍ନତ ତାପଜ ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ହ୍ରାସିତ ପ୍ରଦୂଷଣ ଫଳରେ ଉନ୍ନତ ସମାନତା ଏବଂ ଘନତା ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ସହିତ ଉଚ୍ଚ-ଗୁଣବତ୍ତା ଜମା ହୋଇଥିବା ଫିଲ୍ମ ମିଳିଥାଏ।