액상 에피택시 LPE용 배럴 서셉터
에피택시(Epitaxy)EPI(Electro-Pressure Imaging)는 첨단 반도체 제조에 있어 매우 중요한 공정입니다. 이 공정은 기판 위에 얇은 물질 층을 증착하여 복잡한 소자 구조를 만드는 것을 포함합니다. EPI 반응기에서 서셉터로 흔히 사용되는 SiC 코팅 흑연 배럴 서셉터는 우수한 열전도율과 고온 저항성을 가지고 있습니다.CVD-SiC 코팅그 결과 오염, 침식 및 열 충격에 대한 저항성이 향상됩니다. 이는 서셉터의 수명 연장과 필름 품질 개선으로 이어집니다.
액상 에피택시(LPE)용 배럴 서셉터의 장점:
오염 감소:SiC의 불활성 특성으로 인해 불순물이 서셉터 표면에 부착되는 것을 방지하여 증착된 박막의 오염 위험을 줄입니다.
내식성 향상:SiC는 기존 흑연보다 침식에 대한 저항성이 훨씬 뛰어나 서셉터의 수명이 더 길어집니다.
열 안정성 향상:SiC는 열전도율이 뛰어나고 큰 변형 없이 고온을 견딜 수 있습니다.
향상된 필름 화질:향상된 열 안정성과 오염 감소로 인해 균일성과 두께 제어가 개선된 고품질 증착막을 얻을 수 있습니다.
닝보 VET 에너지 테크놀로지 유한회사는 고급 첨단 소재의 생산 및 판매에 주력하는 하이테크 기업입니다. 당사의 소재 및 기술에는 흑연, 탄화규소, 세라믹, SiC 코팅, TaC 코팅, 유리질 탄소 코팅, 열분해 탄소 코팅 등의 표면 처리 기술이 포함되며, 이러한 제품은 태양광, 반도체, 신에너지, 야금 등 다양한 분야에서 널리 사용됩니다.
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