Statinės susceptorius, skirtas skystos fazės epitaksijos LPE

Statinės susceptoriaus skystos fazės epitaksijai LPE paveikslėlis

Trumpas aprašymas:

„VET Energy“ yra profesionali cilindrinių susceptorių, skirtų skystosios fazės epitaksijai (LPE), gamintoja, tiekėja ir eksportuotoja. Remiama nacionalinių tyrimų centrų ir pirmaujančių technologijų, „VET Energy“ gali pasiūlyti aukštą kokybę už prieinamą kainą. Kviečiame apsilankyti mūsų gamykloje ir aptarti daugiau.

Siųskite mums el. laišką Atsisiųsti kaip PDF

Produkto informacija

Produkto žymės

Statinės susceptorius skystos fazės epitaksijos LPE

EPI (epitaksija)yra labai svarbus procesas pažangių puslaidininkių gamyboje. Jis apima plonų medžiagos sluoksnių nusodinimą ant pagrindo, siekiant sukurti sudėtingas įtaisų struktūras. SiC dengti grafito cilindriniai susceptoriai EPI reaktoriuose dažniausiai naudojami kaip susceptoriai dėl puikaus šilumos laidumo ir atsparumo aukštai temperatūrai. SuCVD-SiC danga, jis tampa atsparesnis užteršimui, erozijai ir terminiam šokui. Dėl to susceptorius tarnauja ilgiau ir pagerėja plėvelės kokybė.

Mūsų cilindrinio susceptoriaus, skirto skystosios fazės epitaksijai LPE, privalumai:
Sumažintas užterštumas:Inertiškas SiC pobūdis neleidžia priemaišoms prilipti prie susceptoriaus paviršiaus, taip sumažinant nusodintų plėvelių užteršimo riziką.
Padidintas atsparumas erozijai:SiC yra žymiai atsparesnis erozijai nei įprastas grafitas, todėl susceptorius tarnauja ilgiau.
Pagerintas terminis stabilumas:SiC pasižymi puikiu šilumos laidumu ir gali atlaikyti aukštą temperatūrą be didelių deformacijų.
Pagerinta filmo kokybė:Pagerėjęs terminis stabilumas ir sumažėjęs užterštumas lemia aukštesnės kokybės nusodintas plėveles, pasižyminčias geresniu vienodumu ir storio kontrole.

Įmonės informacija

„Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd.“ yra aukštųjų technologijų įmonė, orientuota į aukščiausios klasės pažangių medžiagų, įskaitant grafitą, silicio karbidą, keramiką, paviršiaus apdorojimo, pvz., SiC dangos, TaC dangos, stiklinės anglies dangos, pirolizės anglies dangos ir kt., gamybą ir pardavimą. Šie produktai plačiai naudojami fotovoltinėse medžiagose, puslaidininkiuose, naujosios energijos, metalurgijos ir kt. srityse.

Mūsų techninė komanda yra iš geriausių šalies mokslinių tyrimų institucijų ir sukūrė keletą patentuotų technologijų, siekdama užtikrinti produkto našumą ir kokybę, taip pat gali pasiūlyti klientams profesionalius medžiagų sprendimus.

Nuoširdžiai kviečiame apsilankyti mūsų laboratorijoje ir gamykloje techninėms diskusijoms ir bendradarbiavimui!