લિક્વિડ ફેઝ એપિટેક્સી એલપીઇ માટે બેરલ સસેપ્ટર

લિક્વિડ ફેઝ એપિટેક્સી LPE માટે બેરલ સસેપ્ટર

ઇપીઆઇ (એપીટેક્સી)અદ્યતન સેમિકન્ડક્ટર્સના ઉત્પાદનમાં એક મહત્વપૂર્ણ પ્રક્રિયા છે. તેમાં જટિલ ઉપકરણ માળખાં બનાવવા માટે સબસ્ટ્રેટ પર સામગ્રીના પાતળા સ્તરો જમા કરાવવાનો સમાવેશ થાય છે. EPI માટે SiC કોટેડ ગ્રેફાઇટ બેરલ સસેપ્ટરનો ઉપયોગ સામાન્ય રીતે EPI રિએક્ટરમાં સસેપ્ટર તરીકે થાય છે કારણ કે તેમની ઉત્તમ થર્મલ વાહકતા અને ઉચ્ચ તાપમાન સામે પ્રતિકાર હોય છે. સાથેCVD-SiC કોટિંગ, તે દૂષણ, ધોવાણ અને થર્મલ આંચકા સામે વધુ પ્રતિરોધક બને છે. આના પરિણામે સસેપ્ટરનું આયુષ્ય લાંબુ થાય છે અને ફિલ્મ ગુણવત્તામાં સુધારો થાય છે.

લિક્વિડ ફેઝ એપિટાક્સી LPE માટે અમારા બેરલ સસેપ્ટરના ફાયદા:
ઘટાડો દૂષણ:SiC ની નિષ્ક્રિય પ્રકૃતિ અશુદ્ધિઓને સસેપ્ટર સપાટી પર ચોંટતા અટકાવે છે, જેનાથી જમા થયેલી ફિલ્મોના દૂષણનું જોખમ ઘટે છે.
વધેલા ધોવાણ પ્રતિકાર:પરંપરાગત ગ્રેફાઇટ કરતાં SiC ધોવાણ માટે નોંધપાત્ર રીતે વધુ પ્રતિરોધક છે, જેના કારણે સસેપ્ટરનું આયુષ્ય લાંબુ થાય છે.
સુધારેલ થર્મલ સ્થિરતા:SiC માં ઉત્તમ થર્મલ વાહકતા છે અને તે નોંધપાત્ર વિકૃતિ વિના ઊંચા તાપમાનનો સામનો કરી શકે છે.
સુધારેલ ફિલ્મ ગુણવત્તા:સુધારેલ થર્મલ સ્થિરતા અને ઘટાડેલા દૂષણના પરિણામે ઉચ્ચ-ગુણવત્તાવાળી જમા ફિલ્મોમાં સુધારો થાય છે અને એકરૂપતા અને જાડાઈ નિયંત્રણમાં સુધારો થાય છે.