Barrel Susceptor Foar Liquid Phase Epitaxy LPE

Barrel susceptor foar floeibere faze epitaksy LPE

EPI (Epitaxy)is in kritysk proses yn 'e produksje fan avansearre heallieders. It giet om it ôfsetten fan tinne lagen materiaal op in substraat om komplekse apparaatstrukturen te meitsjen. SiC-coated grafytbarrel-susceptoren foar EPI wurde faak brûkt as susceptoren yn EPI-reaktors fanwegen har poerbêste termyske geliedingsfermogen en wjerstân tsjin hege temperatueren. MeiCVD-SiC-coating, wurdt it mear resistint tsjin fersmoarging, eroazje en termyske skok. Dit resulteart yn in langere libbensdoer foar de susceptor en ferbettere filmkwaliteit.

Foardielen fan ús barrel susceptor foar floeibere faze epitaksy LPE:
Fermindere fersmoarging:De inerte aard fan SiC foarkomt dat ûnreinheden oan it oerflak fan 'e susceptor hechte, wêrtroch it risiko op fersmoarging fan 'e ôfsette films ferminderet.
Ferhege eroazjebestriding:SiC is signifikant mear resistint tsjin eroazje as konvinsjonele grafyt, wat liedt ta in langere libbensdoer foar de susceptor.
Ferbettere termyske stabiliteit:SiC hat poerbêste termyske geliedingsfermogen en kin hege temperatueren ferneare sûnder wichtige ferfoarming.
Ferbettere filmkwaliteit:De ferbettere termyske stabiliteit en fermindere fersmoarging resultearje yn ôfsette films fan hegere kwaliteit mei ferbettere uniformiteit en diktekontrôle.