פאַס סאַסעפּטאָר פֿאַר פליסיק פאַסע עפּיטאַקסי לפּע

פאַס סאַסעפּטאָר פֿאַר פליסיק פאַסע עפּיטאַקסי לפּע

EPI (עפּיטאַקסי)איז א קריטישער פּראָצעס אין דער פּראָדוקציע פון ​​אַוואַנסירטע האַלב-קאָנדוקטאָרן. עס באַשטייט פון די דעפּאָזיציע פון ​​דין שיכטן פון מאַטעריאַל אויף אַ סאַבסטראַט צו שאַפֿן קאָמפּלעקסע מיטל סטרוקטורן. SiC קאָוטאַד גראַפיט באַרעל סאַסעפּטאָר פֿאַר EPI ווערן אָפט געניצט ווי סאַסעפּטאָרן אין EPI רעאַקטאָרן צוליב זייער ויסגעצייכנט טערמיש קאַנדאַקטיוויטי און קעגנשטעל צו הויך טעמפּעראַטורן. מיטCVD-SiC קאָוטינג, ווערט עס מער קעגנשטעליק צו קאנטאמינאציע, עראזיע, און טערמישע שאק. דאס רעזולטאט אין א לענגערע לעבנס-צייט פארן סאצעפטאר און פארבעסערטע פילם קוואליטעט.

מעלות פון אונדזער פאַס סאַסעפּטאָר פֿאַר פליסיק פאַסע עפּיטאַקסי LPE:
פארקלענערטע קאנטאמינאציע:SiC'ס אינערטע נאַטור פאַרהיט אומריינקייטן פון זיך צוקלעבן צו דער סאַסעפּטאָר ייבערפלאַך, און דאָס רעדוצירט דעם ריזיקירן פון קאַנטאַמאַניישאַן פון די דעפּאַזיטיד פילמען.
געוואקסן עראָוזשאַן קעגנשטעל:SiC איז באַדייטנד מער קעגנשטעליק צו עראָוזיע ווי קאַנווענשאַנאַל גראַפיט, וואָס פירט צו אַ לענגערע לעבן פֿאַר די סאַסעפּטאָר.
פֿאַרבעסערטע טערמישע פעסטקייט:SiC האט אויסגעצייכנטע טערמישע קאַנדאַקטיוויטי און קען וויטשטיין הויכע טעמפּעראַטורן אָן באַדייטנדיק דיסטאָרשאַן.
פֿאַרבעסערטע פֿילם קוואַליטעט:די פֿאַרבעסערטע טערמישע פעסטקייט און פֿאַרמינדערטע קאָנטאַמינאַציע רעזולטירן אין העכער-קוואַליטעט דעפּאַזיטעד פילמען מיט פֿאַרבעסערטע יונאַפאָרמאַטי און גרעב קאָנטראָל.