Барел-приемник за епитаксия в течна фаза LPE

Варелен сенцептор за течнофазова епитаксия LPE

ЕПИ (Епитаксия)е критичен процес в производството на съвременни полупроводници. Той включва отлагането на тънки слоеве материал върху субстрат, за да се създадат сложни структури на устройства. Графитните барабанни сусцептори с покритие от SiC за EPI често се използват като сусцептори в EPI реактори поради отличната им топлопроводимост и устойчивост на високи температури. С...CVD-SiC покритие, той става по-устойчив на замърсяване, ерозия и термичен шок. Това води до по-дълъг живот на токусцептора и подобрено качество на филма.

Предимства на нашия барабанен токоприемник за течнофазна епитаксия LPE:
Намалено замърсяване:Инертната природа на SiC предотвратява прилепването на примеси към повърхността на токоприемника, намалявайки риска от замърсяване на отложените филми.
Повишена устойчивост на ерозия:SiC е значително по-устойчив на ерозия от конвенционалния графит, което води до по-дълъг живот на токоприемника.
Подобрена термична стабилност:SiC има отлична топлопроводимост и може да издържа на високи температури без значителни деформации.
Подобрено качество на филма:Подобрената термична стабилност и намаленото замърсяване водят до по-висококачествени отложени филми с подобрена еднородност и контрол на дебелината.