Barrel Susceptor för vätskefas epitaxi LPE

Tunnmottagare för flytande fasepitaxi LPE Utvald bild

Kort beskrivning:

VET Energy är en professionell tillverkare, leverantör och exportör av pipelinersubstanser för flytande epitaxi LPE. Med stöd av nationella forskningscentra och ledande teknik kan VET Energy erbjuda dig hög kvalitet till rimliga priser. Välkommen att besöka vår fabrik för vidare diskussion.

Skicka e-post till oss Ladda ner som PDF

Produktinformation

Produktetiketter

Barrel susceptor för flytande fas epitaxi LPE

EPI (Epitaxi)är en kritisk process vid tillverkning av avancerade halvledare. Det innebär att tunna materiallager deponeras på ett substrat för att skapa komplexa komponentstrukturer. SiC-belagda grafitrörssusceptorer för EPI används ofta som susceptorer i EPI-reaktorer på grund av deras utmärkta värmeledningsförmåga och motståndskraft mot höga temperaturer. MedCVD-SiC-beläggningblir den mer motståndskraftig mot kontaminering, erosion och termisk chock. Detta resulterar i en längre livslängd för susceptorn och förbättrad filmkvalitet.

Fördelar med vår cylindersusceptor för vätskefasepitaxis LPE:
Minskad kontaminering:SiC:s inerta natur förhindrar att föroreningar fastnar på susceptorytan, vilket minskar risken för kontaminering av de avsatta filmerna.
Ökad erosionsbeständighet:SiC är betydligt mer motståndskraftigt mot erosion än konventionell grafit, vilket leder till en längre livslängd för susceptorn.
Förbättrad termisk stabilitet:SiC har utmärkt värmeledningsförmåga och tål höga temperaturer utan betydande deformation.
Förbättrad filmkvalitet:Den förbättrade termiska stabiliteten och minskade kontamineringen resulterar i deponerade filmer av högre kvalitet med förbättrad enhetlighet och tjocklekskontroll.

Företagsinformation

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd är ett högteknologiskt företag som fokuserar på produktion och försäljning av avancerade material av högsta kvalitet. Materialen och tekniken inkluderar grafit, kiselkarbid, keramik, ytbehandling som SiC-beläggning, TaC-beläggning, glasartad kolbeläggning, pyrolytisk kolbeläggning etc. Dessa produkter används ofta inom solceller, halvledare, ny energi, metallurgi etc.

Vårt tekniska team kommer från ledande inhemska forskningsinstitutioner och har utvecklat flera patenterade tekniker för att säkerställa produktens prestanda och kvalitet, och kan också förse kunderna med professionella materiallösningar.

Vi välkomnar dig varmt att besöka vårt laboratorium och vår anläggning för tekniska diskussioner och samarbeten!