Suscettore a cilindro per epitassia in fase liquida LPE
EPI (Epitassia)è un processo critico nella produzione di semiconduttori avanzati. Prevede la deposizione di sottili strati di materiale su un substrato per creare strutture di dispositivi complesse. I suscettori a barile di grafite rivestiti in SiC per EPI sono comunemente usati come suscettori nei reattori EPI grazie alla loro eccellente conduttività termica e resistenza alle alte temperature. ConRivestimento CVD-SiCIn questo modo, il materiale diventa più resistente alla contaminazione, all'erosione e agli shock termici. Ciò si traduce in una maggiore durata del supporto e in una migliore qualità del film.
Vantaggi del nostro supporto a barile per l'epitassia in fase liquida (LPE):
Contaminazione ridotta:La natura inerte del SiC impedisce alle impurità di aderire alla superficie del substrato, riducendo il rischio di contaminazione dei film depositati.
Maggiore resistenza all'erosione:Il SiC è significativamente più resistente all'erosione rispetto alla grafite convenzionale, il che si traduce in una maggiore durata del suscettore.
Stabilità termica migliorata:Il SiC possiede un'eccellente conduttività termica e può resistere ad alte temperature senza subire deformazioni significative.
Qualità del film migliorata:La maggiore stabilità termica e la ridotta contaminazione si traducono in film depositati di qualità superiore, con migliore uniformità e controllo dello spessore.

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd è un'azienda high-tech specializzata nella produzione e vendita di materiali avanzati di alta gamma. I materiali e le tecnologie utilizzati includono grafite, carburo di silicio, ceramiche e trattamenti superficiali come rivestimenti in SiC, TaC, carbonio vetroso, carbonio pirolitico, ecc. Questi prodotti trovano ampio impiego nei settori del fotovoltaico, dei semiconduttori, delle nuove energie, della metallurgia, ecc.
Il nostro team tecnico proviene dai migliori istituti di ricerca nazionali e ha sviluppato numerose tecnologie brevettate per garantire le prestazioni e la qualità del prodotto, oltre a essere in grado di fornire ai clienti soluzioni professionali in materia di materiali.
Saremmo lieti di invitarvi a visitare il nostro laboratorio e il nostro stabilimento per discutere di argomenti tecnici e valutare possibili collaborazioni!
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