Porøs tantalkarbidbelagt grafitrådring
Porøs tantalkarbid (TaC) belagt grafiter et nøglemateriale, der er specielt udviklet til de højtemperatur- og meget korrosive miljøer i halvlederproduktion. Dets substrat er isostatisk grafit med høj renhed, belagt med en ensartet porøs tantalcarbidbelægning ved hjælp af kemisk dampaflejring (CVD). TaC har en ekstremt høj hårdhed (9-10 på Mohs-skalaen) og et smeltepunkt på 3880 °C. Kombineret med grafittens fremragende termiske stabilitet og letvægtsegenskaber kombinerer dette materiale højtemperaturstyrke med modstandsdygtighed over for kemiske angreb og termisk chok, hvilket gør det til et ideelt valg til halvlederprocesudstyr, der opererer under ekstreme forhold.
Fordele ved porøs tantalkarbidgrafit:
1. Ultrahøj korrosionsbestandighed
-TaC er kemisk inert og modstår effektivt korrosion fra halogener som fluor og klor, hvilket forlænger udstyrets levetid betydeligt.
- Den porøse struktur øger belægningens overfladeareal, danner en mere robust beskyttende barriere og reducerer risikoen for partikelafgivelse.
2. Fremragende stabilitet ved høje temperaturer
-Med et smeltepunkt på nær 4000°C kan den fungere i længere perioder i vakuum eller inerte atmosfærer, der overstiger 2500°C.
-Belægningens termiske udvidelseskoefficient er i høj grad matchet med grafittens, hvilket forhindrer revner og delaminering forårsaget af termisk cykling.
3. Høj renhed og lav kontaminering
-Ved brug af råmaterialer og processer af halvlederkvalitet er indholdet af metalurenheder ekstremt lavt, hvilket reducerer risikoen for waferkontaminering betydeligt.
-Overfladen er tæt og kemisk stabil, hvilket reducerer partikelgenerering og opfylder strenge standarder for renrum.
4. Brugerdefineret design
Komplekse former kan produceres i henhold til kundens tegninger, og porøsitet og belægningstykkelse kan kontrolleres for at opnå optimal gasstrøm og varmeledningsevne.
5. Lang levetid og lave vedligeholdelsesomkostninger
Den ekstremt høje korrosions- og slidstyrke ved porøse TaC-belægninger øger komponenternes levetid med 3-5 gange sammenlignet med traditionel grafit, hvilket reducerer udskiftningshyppigheden og vedligeholdelsesomkostningerne.
Vigtigste anvendelser
1. Kernekomponenter til waferfremstilling
- Reaktionskammerforinger, baffler og bruserhoved til CVD/ALD-udstyr
- PVD-målstøtter
- Højtemperaturproceskomponenter til diffusion, oxidation, udglødning og andre processer
2. Kemiske dampaflejringssystemer
- Beskyttelse af nøglekomponenter i stærkt korrosive miljøer (såsom fluorider og klorider) under processen
3. Andre korrosive miljøer med høj temperatur
- Velegnet til kemisk gasrensning, specialiserede varmebehandlingsovne og andre anvendelser.
VET Energy er en professionel producent, der fokuserer på forskning og udvikling samt produktion af avancerede materialer som grafit, siliciumcarbid og kvarts, samt materialebehandling som SiC-belægning, TaC-belægning, glasagtig kulstofbelægning, pyrolytisk kulstofbelægning osv. Produkterne anvendes i vid udstrækning inden for solceller, halvledere, ny energi, metallurgi osv.
Vores tekniske team kommer fra førende indenlandske forskningsinstitutioner og kan tilbyde dig mere professionelle materialeløsninger.
VET Energys fordele omfatter:
• Egen fabrik og professionelt laboratorium;
• Brancheførende renhedsniveauer og kvalitet;
• Konkurrencedygtig pris og hurtig leveringstid;
• Flere branchepartnerskaber verden over;
Vi byder dig velkommen til at besøge vores fabrik og laboratorium når som helst!
