VET Energy grafitwaferbåd er et forbrugsmateriale af høj kvalitet, der er skræddersyet til aflejringsprocesser i halvleder-, solcelle- og andre industrier. Produktet er fremstillet af grafitmateriale med høj renhed og høj densitet og har fremragende høj temperaturbestandighed, korrosionsbestandighed, dimensionsstabilitet og andre egenskaber. Det kan give en stabil bærerplatform til aflejringsprocessen for at sikre ensartethed og fladhed i tyndfilmsaflejring.
PECVD-grafitbåden fra VET Energy er fremstillet med isostatisk grafit af høj renhed med en porøsitet på under 15 % og en overfladeruhed Ra≤1,6 μm. Den overlegne dimensionsstabilitet og varmeledningsevne sikrer ensartet filmaflejring og forbedret celleeffektivitet.
Grafitmateriale fra SGL:
| Typisk parameter: R6510 | |||
| Indeks | Teststandard | Værdi | Enhed |
| Gennemsnitlig kornstørrelse | ISO 13320 | 10 | μm |
| Rumdensitet | DIN IEC 60413/204 | 1,83 | g/cm²3 |
| Åben porøsitet | DIN66133 | 10 | % |
| Mellem porestørrelse | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Permeabilitet | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
| Rockwell-hårdhed HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Specifik elektrisk resistivitet | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Bøjningsstyrke | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Trykstyrke | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Youngs modul | DIN 51915 | 11,5×10³ | MPa |
| Termisk ekspansion (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4,2X10-6 | K-1 |
| Termisk ledningsevne (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Den er specielt designet til højeffektiv solcelleproduktion og understøtter behandling af store G12-wafere. Optimeret carrier-design øger gennemløbshastigheden betydeligt, hvilket muliggør højere udbytterater og lavere produktionsomkostninger.
| Punkt | Type | Nummerwaferbærer |
| PEVCD Grephite-båd - 156-serien | 156-13 grephitbåd | 144 |
| 156-19 grefitbåd | 216 | |
| 156-21 grefitbåd | 240 | |
| 156-23 grafitbåd | 308 | |
| PEVCD Grephite-båd - 125-serien | 125-15 grephitbåd | 196 |
| 125-19 grephitbåd | 252 | |
| 125-21 grafitbåd | 280 |
