Glacadóir Bairille Epitaxial Epi Graphite

Glacadóir Bairille Epitaxial Epi Graphite

Glacadóir Bairille Epitaxial Epi GraphiteIs gléas tacaíochta agus téimh atá deartha go speisialta é a úsáidtear chun foshraitheanna leathsheoltóra a shealbhú agus a théamh le linn próiseas déantúsaíochta amhail próisis Taiscthe nó Eipeatacsais.

Áirítear ar a struchtúr de ghnáth cruth sorcóireach nó cruth bairille, tá ilphócaí nó ardáin ar an dromchla chun na vaiféil a chur, agus is féidir leis a bheith soladach nó log, ag brath ar an modh téimh.

Príomhfheidhmeanna an ghabhdóra bairille epitaxial:

1. Iompróir Vaiféir agus Rialú Teochta
Tá dromchla an tsábhálaí deartha le ilphócaí vaiféir (amhail socrú heicseagánach nó ochtagánach), ar féidir leo 6-15 vaiféir a thacú ag an am céanna. Cinntíonn an seoltacht theirmeach ard atá ag graifít ard-íonachta (120-150W/mK) aistriú teasa tapa, in éineacht leis an bhfeidhm rothlaithe (5-20 RPM), rud a fhágann diall teochta dromchla vaiféir de <± 1 ℃ agus aonfhoirmeacht tiús ciseal eipitacsach de <1%.

2. Uasmhéadú treo sreafa gáis imoibríoch
Is féidir le micreastruchtúr dhromchla an ghabhdóra briseadh tríd an éifeacht ciseal teorann, rud a cheadaíonn dáileadh aonfhoirmeach gás imoibrithe (amhail SiH4, NH3) agus a fheabhsaíonn comhsheasmhacht an ráta taiscthe.

3. Cosaint frith-thruaillithe agus frith-chreimeadh
Bíonn foshraitheanna graifíte seans maith go ndianscaoilfidh siad agus go scaoilfidh siad eisíontais miotail (amhail Fe, Ni) ag teochtaí arda, agus is féidir le sciath CVD SiC 100μm tiubh bacainn dlúth a chruthú chun so-ghalú graifíte a chosc, rud a fhágann ráta lochtanna vaiféir de <0.1 locht/cm².

Iarratais:
-Úsáidtear go príomha é le haghaidh fás eipitacsach sileacain
-Infheidhme freisin maidir le heipitacsaíocht ábhar leathsheoltóra eile cosúil le GaAs, InP, etc.

Úsáideann VET Energy graifít ardíonachta le sciath CVD-SiC chun an chobhsaíocht cheimiceach a fheabhsú:

1. Ábhar graifíte ardíonachta
Seoltacht theirmeach ard: tá seoltacht theirmeach graifíte trí huaire níos mó ná seoltacht theirmeach sileacain, rud a fhéadann teas a aistriú go tapa ón bhfoinse téimh go dtí an sceallóg agus an t-am téimh a ghiorrú.
Neart meicniúil: Dlús graifíte brú isostatach ≥ 1.85 g/cm³, atá in ann teocht ard os cionn 1200 ℃ a sheasamh gan dífhoirmiú.

2. Sciath CVD SiC
Cruthaítear ciseal β-SiC ar dhromchla graifíte trí thaisceadh gaile ceimiceach (CVD), le híonacht ≥ 99.99995%, tá earráid aonfhoirmeachta thiús an sciath níos lú ná ± 5%, agus tá garbh-dhromchla níos lú ná Ra0.5um.

3. Feabhsú feidhmíochta:
Friotaíocht creimeadh: is féidir leis seasamh in aghaidh gás ardchreimneach amhail Cl2, HCl, srl., agus is féidir leis saolré eipitacsas GaN a shíneadh faoi thrí i dtimpeallacht NH3.
Cobhsaíocht theirmeach: Tá comhéifeacht leathnú teirmeach (4.5 × 10-6/℃) ag teacht le graifít chun scoilteadh sciath de bharr luaineachtaí teochta a sheachaint.
Cruas agus Friotaíocht Caithimh: Sroicheann cruas Vickers 28 GPa, atá 10 n-uaire níos airde ná graifít agus is féidir leis an mbaol scríobtha vaiféir a laghdú.