Bagian Halfmoon Grafit Berlapis SiC Untuk Tungku Epitaksial Karbida Silikon

Deskripsi Singkat:

VET Energy adalah produsen dan pemasok profesional komponen inti tungku epitaksial silikon karbida. Bagian halfmoon grafit berlapis SiC kami menggunakan grafit dengan kemurnian tinggi yang dikombinasikan dengan teknologi pelapisan CVD yang canggih. Komponen ini dirancang untuk lingkungan epitaksial bersuhu tinggi dan sangat korosif. Grafit dengan kemurnian tinggi memberikan komponen ketahanan suhu tinggi yang sangat baik (>1600℃) dan stabilitas termal, yang memastikan keseragaman medan termal; pelapisan CVD membentuk lapisan pelindung yang padat pada permukaan melalui teknologi CVD, yang secara signifikan meningkatkan sifat anti-oksidasi dan anti-etsa, serta memperpanjang masa pakai lebih dari 3 kali lipat.

Bahan:Grafit dengan kemurnian tinggi

Pemurnian:<5ppm

Lapisan:CVD-SiC atau CVD-TaC

Kustomisasi:Tungku merek atau OEM

Kirim email ke kami Unduh sebagai PDF

Detail Produk

Label Produk

Bagian Halfmoon Grafit Berlapis SiCadalah komponen utama yang digunakan dalam proses produksi semikonduktor, terutama untuk peralatan epitaksial SiC. Kami menggunakan teknologi yang telah dipatenkan untuk membuat komponen halfmoon dengan kemurnian yang sangat tinggi, keseragaman lapisan yang baik, dan masa pakai yang sangat baik, serta ketahanan kimia dan sifat stabilitas termal yang tinggi.

Bahan dasar: grafit kemurnian tinggi
Persyaratan kemurnian:kandungan karbon ≥99,99%, kadar abu ≤5ppm, untuk memastikan tidak ada kotoran yang mengendap dan mengontaminasi lapisan epitaksial pada suhu tinggi.
Keunggulan kinerja:
Konduktivitas termal tinggi:Konduktivitas termal pada suhu ruangan mencapai 150W/(m・K), yang mendekati tingkat tembaga dan dapat dengan cepat mentransfer panas.
Koefisien ekspansi rendah:Ukuran 5×10^-6/℃ (25-1000℃), cocok dengan substrat silikon karbida (4,2×10^-6/℃), mengurangi retaknya lapisan yang disebabkan oleh tekanan termal.
Akurasi pemrosesan:Toleransi dimensi ±0,05 mm dicapai melalui permesinan CNC untuk memastikan penyegelan ruang.

Aplikasi Terdiferensiasi CVD SiC dan CVD TaC

Lapisan	Proses	Perbandingan	Aplikasi khas
CVD-SiC	Suhu: 1000-1200℃Tekanan: 10-100 Torr	Kekerasan HV2500, ketebalan 50-100um, ketahanan oksidasi yang sangat baik (stabil di bawah 1600℃)	Tungku epitaksial universal, cocok untuk atmosfer konvensional seperti hidrogen dan silana
CVD-TaC	Suhu: 1600-1800℃Tekanan: 1-10 Torr	Kekerasan HV3000, ketebalan 20-50um, sangat tahan korosi (dapat menahan gas korosif seperti HCl, NH₃, dll.)	Lingkungan yang sangat korosif (seperti epitaksi GaN dan peralatan etsa), atau proses khusus yang memerlukan suhu sangat tinggi 2600 °C

Pemeriksaan kualitas

Ketebalan lapisan: pengukur ketebalan laser (akurasi ±1um) atau analisis penampang SEM.
Kekuatan ikatan: uji gores (beban kritis > 50N) atau pengujian ultrasonik (kecepatan suara > 5000m/s).
Ketahanan korosi: laju kehilangan massa (<0,1 mg/cm²・h) diuji dalam atmosfer HCl (5 vol%, 1600℃).

VET Energy adalah produsen profesional yang berfokus pada penelitian dan pengembangan serta produksi material canggih kelas atas seperti grafit, silikon karbida, kuarsa, serta perawatan material seperti pelapisan SiC, pelapisan TaC, pelapisan karbon kaca, pelapisan karbon pirolitik, dll. Produk-produk tersebut banyak digunakan dalam fotovoltaik, semikonduktor, energi baru, metalurgi, dll.

Tim teknis kami berasal dari lembaga penelitian domestik terkemuka, dapat menyediakan solusi material yang lebih profesional untuk Anda.

Keunggulan VET Energy meliputi:
• Pabrik sendiri dan laboratorium profesional;
• Tingkat kemurnian dan kualitas terdepan di industri;
• Harga kompetitif & Waktu pengiriman cepat;
• Berbagai kemitraan industri di seluruh dunia;

Kami mengundang Anda untuk mengunjungi pabrik dan laboratorium kami kapan saja!