Bagian Setengah Bulan Grafit Berlapis SiCmerupakan komponen kunci yang digunakan dalam proses manufaktur semikonduktor, terutama untuk peralatan epitaksi SiC. Kami menggunakan teknologi yang dipatenkan untuk membuat bagian setengah lingkaran dengan kemurnian yang sangat tinggi, keseragaman lapisan yang baik, dan masa pakai yang sangat baik, serta ketahanan kimia dan stabilitas termal yang tinggi.
Bahan dasar: grafit dengan kemurnian tinggi
Persyaratan kemurnian:Kandungan karbon ≥99,99%, kandungan abu ≤5ppm, untuk memastikan tidak ada pengotor yang mengendap dan mencemari lapisan epitaksial pada suhu tinggi.
Keunggulan kinerja:
Konduktivitas termal tinggi:Konduktivitas termal pada suhu ruangan mencapai 150W/(m・K), yang mendekati tingkat tembaga dan dapat mentransfer panas dengan cepat.
Koefisien ekspansi rendah:5×10-6/℃ (25-1000℃), sesuai dengan substrat silikon karbida (4,2×10-6/℃), mengurangi keretakan lapisan yang disebabkan oleh tekanan termal.
Akurasi pemrosesan:Toleransi dimensi ±0,05 mm dicapai melalui pemesinan CNC untuk memastikan penyegelan ruang tersebut.
Aplikasi yang berbeda dari CVD SiC dan CVD TaC
| Lapisan | Proses | Perbandingan | Aplikasi umum |
| CVD-SiC | Suhu: 1000-1200℃ Tekanan: 10-100 Torr | Kekerasan HV2500, ketebalan 50-100um, ketahanan oksidasi yang sangat baik (stabil di bawah 1600℃) | Tungku epitaksial universal, cocok untuk atmosfer konvensional seperti hidrogen dan silana. |
| CVD-TaC | Suhu: 1600-1800℃ Tekanan: 1-10 Torr | Kekerasan HV3000, ketebalan 20-50um, sangat tahan korosi (dapat menahan gas korosif seperti HCl, NH₃, dll.) | Lingkungan yang sangat korosif (seperti peralatan epitaksi dan etsa GaN), atau proses khusus yang membutuhkan suhu sangat tinggi hingga 2600°C. |
Inspeksi kualitas
Ketebalan lapisan: pengukur ketebalan laser (akurasi ±1um) atau analisis penampang SEM.
Kekuatan ikatan: uji goresan (beban kritis > 50N) atau pengujian ultrasonik (kecepatan suara > 5000m/s).
Ketahanan korosi: laju kehilangan massa (<0,1 mg/cm²・jam) diuji dalam atmosfer HCl (5 vol%, 1600℃).
VET Energy adalah produsen profesional yang fokus pada penelitian dan pengembangan serta produksi material canggih kelas atas seperti grafit, silikon karbida, kuarsa, serta pengolahan material seperti pelapisan SiC, pelapisan TaC, pelapisan karbon kaca, pelapisan karbon pirolitik, dll. Produk-produk tersebut banyak digunakan dalam bidang fotovoltaik, semikonduktor, energi baru, metalurgi, dll.
Tim teknis kami berasal dari lembaga penelitian terkemuka di dalam negeri, dan dapat memberikan solusi material yang lebih profesional untuk Anda.
Keunggulan VET Energy meliputi:
• Memiliki pabrik dan laboratorium profesional sendiri;
• Tingkat kemurnian dan kualitas terdepan di industri;
• Harga kompetitif & Waktu pengiriman cepat;
• Berbagai kemitraan industri di seluruh dunia;
Kami menyambut Anda untuk mengunjungi pabrik dan laboratorium kami kapan saja!
