Porous Tantal Carbide húðaður grafíthringur
Grafít húðað með porous tantal karbíði (TaC)er lykilefni sem er sérstaklega þróað fyrir háhita og mjög tærandi umhverfi í hálfleiðaraframleiðslu. Undirlag þess er hágæða ísostatískt grafít, húðað með einsleitri, porous tantalkarbíðhúð með efnafræðilegri gufuútfellingu (CVD). TaC hefur afar mikla hörku (9-10 á Mohs-kvarðanum) og bræðslumark upp á 3880°C. Í bland við framúrskarandi hitastöðugleika grafítsins og léttleika eiginleika sameinar þetta efni háhitastyrk við mótstöðu gegn efnaárásum og hitaáfalli, sem gerir það að kjörnum kosti fyrir hálfleiðaravinnslubúnað sem starfar við erfiðar aðstæður.
Kostir porous tantal karbíð grafíts:
1. Mjög mikil tæringarþol
-TaC er efnafræðilega óvirkt og stendur gegn tæringu frá halógenum eins og flúor og klór á áhrifaríkan hátt, sem lengir líftíma búnaðarins verulega.
-Götótt uppbygging eykur yfirborðsflatarmál húðunarinnar, myndar sterkari verndarhindrun og dregur úr hættu á að agnir losni.
2. Frábær stöðugleiki við háan hita
-Með bræðslumark sem nálgast 4000°C getur það starfað í langan tíma í lofttæmi eða óvirkum andrúmsloftum sem fara yfir 2500°C.
-Hitþenslustuðull húðunarinnar er mjög sambærilegur við grafítið, sem kemur í veg fyrir sprungur og eyðingu af völdum hitunarhringrásar.
3. Mikil hreinleiki og lítil mengun
-Með því að nota hráefni og ferla af hálfleiðaragráðu er óhreinindainnihald málmsins afar lágt, sem dregur verulega úr hættu á mengun skífna.
-Yfirborðið er þétt og efnafræðilega stöðugt, sem dregur úr myndun agna og uppfyllir strangar kröfur um hreinrými.
4. Sérsniðin hönnun
Hægt er að framleiða flókin form samkvæmt teikningum viðskiptavina og stýra gegndræpi og þykkt húðunar til að ná sem bestum gasflæði og varmaleiðni.
5. Langur líftími og lágur viðhaldskostnaður
Mjög mikil tæringar- og slitþol gegndræpra TaC-húða eykur endingartíma íhluta um 3-5 sinnum samanborið við hefðbundið grafít, sem dregur úr tíðni skipti og viðhaldskostnaði.
Helstu notkunarsvið
1. Kjarnaþættir fyrir framleiðslu á skífum
- Innfellingar í hvarfklefa, hljóðdeyfar og sturtuhaus fyrir CVD/ALD búnað
- PVD skotmarksstuðningar
- Íhlutir fyrir háhitaferli fyrir dreifingu, oxun, glæðingu og önnur ferli
2. Efnafræðileg gufuútfellingarkerfi
- Verndun lykilþátta í mjög ætandi umhverfi (eins og flúoríð og klóríð) meðan á ferlinu stendur
3. Önnur ætandi umhverfi við háan hita
- Hentar fyrir efnafræðilega gashreinsun, sérhæfða hitameðferðarofna og önnur forrit.
VET Energy er faglegur framleiðandi sem einbeitir sér að rannsóknum og þróun og framleiðslu á háþróuðum efnum eins og grafíti, kísilkarbíði, kvarsi, sem og efnismeðferð eins og SiC húðun, TaC húðun, gljáandi kolefnishúðun, hitaleiðandi kolefnishúðun o.s.frv. Vörurnar eru mikið notaðar í ljósorkuverum, hálfleiðurum, nýrri orku, málmvinnslu o.s.frv.
Tækniteymi okkar kemur frá fremstu innlendum rannsóknarstofnunum og getur veitt þér faglegri efnislausnir.
Kostir VET Energy eru meðal annars:
• Eigin verksmiðja og fagleg rannsóknarstofa;
• Hreinleikastig og gæði í fremstu röð í greininni;
• Samkeppnishæft verð og hraður afhendingartími;
• Fjölbreytt samstarf í greininni um allan heim;
Við bjóðum þér velkomin að heimsækja verksmiðju okkar og rannsóknarstofu hvenær sem er!
