Grafítskífubátur til útfellingar

Stutt lýsing:

VET Energy grafítskífubáturinn er hágæða rekstrarvara sem er sniðin fyrir útfellingarferli í hálfleiðurum, sólarorku og öðrum iðnaði. Þessi vara er úr hágæða grafítefni með mikilli hreinleika og mikilli þéttleika og hefur framúrskarandi hitaþol, tæringarþol, víddarstöðugleika og aðra eiginleika. Hún getur veitt stöðugan burðargrunn fyrir útfellingarferlið til að tryggja einsleitni og flatneskju í útfellingu þunnfilmu.

Senda okkur tölvupóst Sækja sem PDF

Vöruupplýsingar

Vörumerki

PECVD grafítbáturinn frá VET Energy er framleiddur úr hágæða ísóstöðugu grafíti, með gegndræpi undir 15% og yfirborðsgrófleika Ra≤1,6μm. Framúrskarandi víddarstöðugleiki og varmaleiðni tryggja jafna filmuútfellingu og aukna skilvirkni frumna.

Grafítefni frá SGL:

Dæmigert breytu: R6510
Vísitala	Prófunarstaðall	Gildi	Eining
Meðalkornastærð	ISO 13320	10	míkrómetrar
Þéttleiki rúmmáls	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Opin gegndræpi	DIN66133	10	%
Miðlungsstærð pora	DIN66133	1.8	míkrómetrar
Gegndræpi	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell hörku HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Sérstök rafviðnám	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Beygjustyrkur	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Þjöppunarstyrkur	DIN 51910	130	MPa
Youngs stuðull	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Varmaþensla (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Varmaleiðni (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Það er sérstaklega hannað fyrir framleiðslu á sólarsellum með mikilli skilvirkni og styður vinnslu á stórum G12 skífum. Bjartsýni hönnun flutningsaðila eykur afköst verulega, sem gerir kleift að auka afköst og lækka framleiðslukostnað.

Vara	Tegund	Fjöldi skífuflutningsaðila
PEVCD Grephite bátur - 156 serían	156-13 grefítbátur	144
	156-19 grefítbátur	216
	156-21 grefítbátur	240
	156-23 grafítbátur	308
PEVCD Grephite bátur - 125 serían	125-15 grefítbátur	196
	125-19 grefítbátur	252
	125-21 grafítbátur	280