צינור תהליך דיפוזיה של סיליקון קרביד SiC
צינורות תנור דיפוזיה מסיליקון קרבידהם רכיבים מרכזיים המשמשים בתהליכי מוליכים למחצה, טיפול בחום בטמפרטורה גבוהה והכנת חומרים. הם משמשים בעיקר כתא תמיכה ותגובה עבור תנורי דיפוזיה או תנורי חמצון, ומבצעים תהליכים כגון תגובה אטמוספרית, חמצון, דיפוזיה וחישול בסביבות בטמפרטורה גבוהה וקורוזיביות מאוד.
חברת VET Energy מתמחה בתכנון וייצור של צינורות סיליקון קרביד (SiC) עבור יישומי מוליכים למחצה בטמפרטורה גבוהה וקורוזיביים. עם מתקני ייצור מתקדמים וטכנולוגיות CVD וסינטור קנייניות, אנו מספקים צינורות בעלי יציבות תרמית מעולה, עמידות בפני חמצון וחיי שירות ארוכים.
יתרונות צינורות ה-SiC של VET Energy:
טוהר גבוה במיוחד:מיוצר באמצעות תהליך סינטור מיוחד, זיהומים מזיקים של מתכת (כגון Na, K, Fe ו-Al) מופחתים לרמת ppb.
פליטת גזים נמוכה במיוחד:בסביבות של טמפרטורה גבוהה וואקום גבוה, פליטת גזים נמוכה בהרבה מזו של קוורץ, מה שמונע ביעילות זיהום בתא התהליך, מבטיח את האיכות הפנימית של שכבות דקות שהופקדו או צמיחת גבישים, ומשפר משמעותית את תפוקת המוצר (קריטי במיוחד לאפיטקסיה של SiC, צמיחת GaN וייצור סיליקון יחיד-גבישי מתקדם).
יציבות בטמפרטורה גבוהה:טמפרטורות הפעלה ארוכות טווח העולות על 1600 מעלות צלזיוס (הרבה מעל נקודת הריכוך של קוורץ, כ-1200 מעלות צלזיוס) אפשריות, וטמפרטורות קצרות טווח יכולות לעמוד בטמפרטורות גבוהות אף יותר (כגון 1800 מעלות צלזיוס), ובכך לעמוד בדרישות הטמפרטורה הגבוהות במיוחד של מוליכים למחצה ותהליכי גידול גבישים מהדור השלישי.
עמידות בפני קורוזיה כימית:עמיד במיוחד בפני גזים קורוזיביים במיוחד כגון HCl, Cl₂ ו-HF, כמו גם סיליקון מותך ואדי מתכת, תוך שמירה על שלמות מבנית וגימור פני השטח באטמוספרות מורכבות כגון CVD, דיפוזיה, חמצון ואכילה, עם אורך חיים העולה בהרבה על זה של צינורות תנור קוורץ.
מוליכות תרמית מעולה:מוליכות התרמית שלו גדולה עשרות מונים מזו של קוורץ, מה שמאפשר פיזור טמפרטורות מהיר ואחיד יותר בתנור ומשפר את אחידות התהליך ואת יכולת החזרה שלו. זה קריטי במיוחד לעיבוד ופלים מרובי שטחים גדולים (למשל, תנורי דיפוזיה פוטו-וולטאיים וכורי MOCVD).
יציבות ממדית:מקדם ההתפשטות התרמית הנמוך במיוחד שלו מבטיח שצינור התנור ישמור על גיאומטריה יציבה ביותר גם כאשר הוא נתון לתנודות טמפרטורה חוזרות ונשנות ודרסטיות, ובכך מונע כשל אטם או ריכוז מתח הנגרם כתוצאה מהתפשטות והתכווצות תרמית.
עֲמִידוּת:קשיותו וחוזקו הגבוהים מעניקים לצינור התנור תכונות מכניות מצוינות, מה שהופך אותו לעמיד בפני עיוות ונזק.
יישום טיפוסי:
ייצור מוליכים למחצה:גידול אפיטקסיאלי של SiC/GaN (MOCVD, HTCVD), אפיטקסיה מבוססת סיליקון, דיפוזיה/חמצון/חישול בטמפרטורה גבוהה (RTP) ו-LPCVD.
תעשייה פוטו-וולטאית:דיפוזיה בטמפרטורה גבוהה (דיפוזיה של זרחן/בורון) וחישול של תאי שמש מסיליקון גבישי.
| 重结晶碳化硅物理特性 תכונות פיזיקליות של סיליקון קרביד מגובש מחדש | |
| 性质 / נכס | 典型数值 / ערך טיפוסי |
| 使用温度/ טמפרטורת עבודה (°C) | 1600°C (עם חמצן), 1700°C (סביבה מצמצמת) |
| סיליקה קרביד含量/ תכולת SiC | > 99.96% |
| 自由Si含量תוכן סי חינמי | < 0.1% |
| 体积密度/צפיפות בתפזורת | 2.60-2.70 גרם/סמ"ר3 |
| 气孔率נקבוביות לכאורה | < 16% |
| 抗压强度/ חוזק דחיסה | > 600MPa |
| 常温抗弯强度/חוזק כיפוף קר | 80-90 מגה פסקל (20°C) |
| 高温抗弯强度חוזק כיפוף חם | 90-100 מגה פסקל (1400 מעלות צלזיוס) |
| 热膨胀系数/ התפשטות תרמית ב-1500°C | 4.70 10-6/°C |
| 导热系数/מוליכות תרמית ב-1200 מעלות צלזיוס | 23משקל/מטר•קל |
| 杨氏模量מודול אלסטיות | 240 GPA |
| 抗热震性עמידות בפני זעזועים תרמיים | טוב במיוחד |
VET Energy היא יצרנית מקצועית המתמקדת במחקר ופיתוח ובייצור של חומרים מתקדמים באיכות גבוהה כגון גרפיט, סיליקון קרביד, קוורץ, וכן בטיפול בחומרים כגון ציפוי SiC, ציפוי TaC, ציפוי פחמן זכוכיתי, ציפוי פחמן פירוליטי וכו'. המוצרים נמצאים בשימוש נרחב בתחומי הפוטו-וולטאית, מוליכים למחצה, אנרגיה חדשה, מטלורגיה וכו'.
הצוות הטכני שלנו מגיע ממוסדות מחקר מקומיים מובילים, ויכול לספק לך פתרונות חומר מקצועיים יותר.
יתרונות VET Energy כוללים:
• מפעל משלו ומעבדה מקצועית;
• רמות טוהר ואיכות מובילות בתעשייה;
• מחיר תחרותי וזמן אספקה מהיר;
• שותפויות מרובות בתעשייה ברחבי העולם;
אנו מזמינים אתכם לבקר במפעל ובמעבדה שלנו בכל עת!
