קרמיקה נקבובית של סיליקון קרביד SiC

קרמיקה נקבובית של סיליקון קרביד SiC
קרמיקה נקבובית SiCהוא חומר קרמי בעל ביצועים גבוהים עם מבנה נקבוביות נשלט, הכולל טוהר גבוה במיוחד, עמידות לטמפרטורה גבוהה, עמידות בפני הלם תרמי ואדישות כימית. הם נמצאים בשימוש נרחב בתחומים מתקדמים כגון ייצור מוליכים למחצה, ייצור פרוסות סיליקון פוטו-וולטאיות ותהליכים אפיטקסיאליים של מוליכים למחצה מדור שלישי (SiC/GaN).

חברת VET Energy משתמשת באבקת SiC בעלת טוהר גבוה בשילוב עם טכנולוגיית סינטור מתקדמת כדי להשיג שליטה מדויקת בגודל הנקבוביות (0.05-100 מיקרומטר), ועומדת בדרישות יישומים מגוונות עבור סינון, דיפוזיה, קטליזה וניהול תרמי. זוהי בחירה אידיאלית עבור תעשיות המוליכים למחצה והפוטו-וולטאית לשיפור שיעורי התפוקה, הפחתת זיהום ואופטימיזציה של תהליכים.

היתרונות המרכזיים שלנו
✅ טוהר גבוה במיוחד:
זיהומי מתכת <0.5ppm, תואמים לתקני SEMI, מונעים זיהום פרוסות סיליקון;
✅ עמידות בטמפרטורה גבוהה (שימוש רציף ב-1600℃):
מתאים לסביבות טמפרטורה גבוהה כגון CVD, תנורי דיפוזיה והתכת סיליקון;
✅ עמידות חזקה בפני הלם תרמי:
מסתגל לשינויי טמפרטורה מהירים, ומפחית את זמן השבתת הציוד
✅ אינרטיות כימית (עמיד בפני חומצות, בסיסים ומתכות מותכות):
עמיד בפני גזים קורוזיביים כגון HF ו- Cl₂, עם אורך חיים העולה בהרבה על זה של מסנני מתכת;
✅ מבנה נקבוביות מבוקר (0.05-100 מיקרון):
תומך בסינון מדורג, משפר את יעילות זרימת הנוזלים;

יישום אופייני
1. ייצור מוליכים למחצה: סינון גז CVD/ALD, פלטות חלוקת זרימה בתנור דיפוזיה, איכול, טיפול בגזי פליטה וכו'.
2. תעשייה פוטו-וולטאית: סינון התכת חומרי סיליקון, מסכות ציפוי תאי PERC וכו'.
3. מוליכים למחצה דור שלישי (SiC/GaN): טיפול מקדים אפיטקסיאלי בפרוסות סיליקון.