アドバンスドSiCカンチレバーパドルvet-china社が開発したウェーハ処理用カンチレバーパドルは、半導体製造において優れたソリューションを提供します。このカンチレバーパドルはSiC（炭化ケイ素）素材でできており、高い硬度と耐熱性により、高温や腐食環境下でも優れた性能を発揮します。カンチレバーパドルの設計により、処理中にウェーハを確実に支持できるため、破損や損傷のリスクを低減できます。
SiCカンチレバーパドルは、酸化炉、拡散炉、焼鈍炉などの半導体製造装置で使用される特殊な部品であり、主な用途はウェーハのロードとアンロード、高温プロセス中のウェーハの支持と搬送です。
一般的な構造のSiCcアンチレバーpアドル: 片持ち梁構造とは、片端が固定され、もう一方の端が自由な構造で、一般的に平らでパドル状の形状をしている。
VET Energy社は、品質を保証するために高純度の再結晶シリコンカーバイド材料を使用しています。
| 再結晶炭化ケイ素の物理的性質 | |
| 財産 | 標準値 |
| 動作温度（℃） | 1600℃（酸素存在下）、1700℃（還元雰囲気下） |
| SiC含有量 | 99.96%以上 |
| 遊離ケイ素含有量 | 0.1%未満 |
| かさ密度 | 2.60～2.70 g/cm3 |
| 見かけの多孔性 | 16%未満 |
| 圧縮強度 | 600以上MPa |
| 冷間曲げ強度 | 80～90 MPa (20℃) |
| 熱間曲げ強度 | 90～100 MPa (1400℃) |
| 1500℃における熱膨張 | 4.70 10-6/℃ |
| 1200℃における熱伝導率 | 23W/m・K |
| 弾性率 | 240 GPa |
| 耐熱衝撃性 | 非常に良い |
VET Energy社の先進的なSiCカンチレバーパドル（ウェハ加工用）の利点は以下のとおりです。
-高温安定性：1600℃を超える環境でも使用可能。
-低い熱膨張係数：寸法安定性を維持し、ウェーハの反りリスクを低減します。
-高純度：金属汚染のリスクが低い。
-化学的不活性：耐腐食性があり、様々なガス環境に適しています。
-高強度・高硬度：耐摩耗性、長寿命。
・優れた熱伝導性：ウェハーの均一な加熱に役立ちます。
