上級者向けSiCカンチレバーパドルvet-chinaが開発したウェーハ処理用カンチレバーパドルは、半導体製造に最適なソリューションを提供します。このカンチレバーパドルはSiC（シリコンカーバイド）素材で作られており、高い硬度と耐熱性により、高温・腐食環境下でも優れた性能を維持します。カンチレバーパドルの設計により、処理中にウェーハを確実に支持し、破砕や損傷のリスクを低減します。
SiCカンチレバーパドル酸化炉、拡散炉、アニール炉などの半導体製造装置に使用される特殊部品で、主な用途はウェハのロードとアンロード、高温プロセス中のウェハの支持と搬送です。
一般的な構造のSiCcアンチレバーpアドル: 片端が固定され、他端が自由な片持ち梁構造は、通常、平らでパドルのようなデザインになっています。
VET Energy は、品質を保証するために高純度の再結晶シリコンカーバイド材料を使用しています。
| 再結晶シリコンカーバイドの物理的特性 | |
| 財産 | 標準値 |
| 動作温度（°C） | 1600℃（酸素あり）、1700℃（還元環境） |
| SiC含有量 | > 99.96% |
| フリーSiコンテンツ | 0.1%未満 |
| かさ密度 | 2.60～2.70 g/cm3 |
| 見かけの多孔度 | 16%未満 |
| 圧縮強度 | > 600MPa |
| 冷間曲げ強度 | 80～90 MPa（20℃） |
| 熱間曲げ強度 | 90～100 MPa（1400℃） |
| 1500°Cでの熱膨張 | 4.70 10-6/℃ |
| 熱伝導率（1200°C） | 23W/m•K |
| 弾性率 | 240万気圧 |
| 耐熱衝撃性 | 非常に良い |
VET Energy のウェーハ処理用高度 SiC カンチレバー パドルの利点は次のとおりです。
-高温安定性：1600℃以上の環境で使用可能。
- 低熱膨張係数: 寸法安定性を維持し、ウェーハの反りリスクを軽減します。
-高純度：金属汚染のリスクが低い。
-化学的不活性：耐腐食性があり、さまざまなガス環境に適しています。
-高強度、高硬度：耐摩耗性、長寿命。
- 優れた熱伝導性：ウェハの均一な加熱に役立ちます。
