Порозен силициум карбид SiC керамика

Порозен силициум карбид SiC керамика
Порозна SiC керамикае високо-перформансен керамички материјал со контролирана структура на пори, кој се одликува со ултра-висока чистота, отпорност на високи температури, отпорност на термички шокови и хемиска инертност. Тие се широко користени во напредни области како што се производство на полупроводници, производство на фотоволтаични силиконски плочки и епитаксијални процеси на полупроводници од трета генерација (SiC/GaN).

VET Energy користи SiC прав со висока чистота во комбинација со напредна технологија на синтерување за да постигне прецизна контрола на големината на порите (0,05–100μm), задоволувајќи ги разновидните барања за примена за филтрација, дифузија, катализа и термичко управување. Тоа е идеален избор за полупроводничката и фотоволтаичната индустрија за подобрување на стапките на принос, намалување на контаминацијата и оптимизирање на процесите.

Нашите основни предности
✅ Ултра висока чистота:
метални нечистотии <0,5 ppm, во согласност со SEMI стандардите, спречувајќи контаминација на плочки;
✅ Отпорност на високи температури (континуирана употреба на 1600℃):
погоден за средини со висока температура како што се CVD, дифузиони печки и топење на силициум;
✅ Силна отпорност на термички шок:
се прилагодува на брзите промени на температурата, намалувајќи го времето на застој на опремата
✅ Хемиска инертност (отпорен на киселини, алкалии и стопени метали):
отпорен на корозивни гасови како што се HF и Cl₂, со животен век далеку поголем од оној на металните филтри;
✅ Контролирана структура на порите (0,05-100 μm):
поддржува постепена филтрација, подобрувајќи ја ефикасноста на протокот на течности;

Типична примена
1. Производство на полупроводници: филтрација на CVD/ALD гас, плочи за дистрибуција на проток во дифузна печка, третман на издувни гасови со бакирање итн.
2. Фотоволтаична индустрија: Филтрација со топење на силиконски материјали, маски за обложување на PERC ќелии итн.
3. Полупроводници од трета генерација (SiC/GaN): Епитаксијален претходен третман на плочки.