Силициум карбидна SiC дифузиска цевка за процесирање

Силициум карбидна SiC дифузиска цевка за процесирање

Цевки за дифузиона печка од силициум карбидсе клучни компоненти што се користат во полупроводниците, процесите на термичка обработка на висока температура и процесите на подготовка на материјали. Тие првенствено се користат како потпорна и реакциона комора за дифузиони печки или оксидациски печки, извршувајќи процеси како што се атмосферска реакција, оксидација, дифузија и жарење во високотемпературни, висококорозивни средини.
VET Energy е специјализирана за дизајнирање и производство на силициум карбидни (SiC) цевки за високотемпературни и корозивни полупроводнички апликации. Со напредни производствени капацитети и сопствени технологии за CVD и синтерување, испорачуваме цевки кои се одликуваат со одлична термичка стабилност, отпорност на оксидација и долг работен век.

Предности на SiC цевките на VET Energy:

Ултра висока чистота:Произведено со посебен процес на синтерување, штетните метални нечистотии (како што се Na, K, Fe и Al) се редуцираат на ниво на ppb.
Екстремно ниско испуштање гасови:Во средини со висока температура и висок вакуум, испуштањето гасови е далеку помало од она на кварцот, што ефикасно спречува контаминација на процесната комора, обезбедувајќи вроден квалитет на таложената тенка филмска обвивка или раст на кристали и значително подобрувајќи го приносот на производот (особено критично за SiC епитаксија, раст на GaN и производство на висококвалитетен монокристален силициум).
Стабилност на висока температура:Можни се долготрајни работни температури што надминуваат 1600°C (далеку над точката на омекнување на кварцот, приближно 1200°C), а краткорочните температури можат да издржат дури и повисоки температури (како што се 1800°C), задоволувајќи ги ултра-високите температурни барања на полупроводниците од трета генерација и процесите на раст на кристали.
Отпорност на хемиска корозија:Високо отпорен на високо корозивни гасови како што се HCl, Cl₂ и HF, како и на стопен силициум и метална пареа, одржувајќи го структурниот интегритет и површинската завршна обработка во сложени атмосфери како што се CVD, дифузија, оксидација и јоргани, со животен век далеку поголем од оној на кварцните цевки од печка.
Одлична топлинска спроводливост:Неговата топлинска спроводливост е десетици пати поголема од онаа на кварцот, што овозможува побрза и порамномерна распределба на температурата на печката и ја подобрува униформноста и повторувањето на процесот. Ова е особено критично за обработка на големи површини со повеќе плочки (на пр., фотоволтаични дифузни печки и MOCVD реактори).
Димензионална стабилност:Неговиот екстремно низок коефициент на термичка експанзија обезбедува цевката на печката да одржува високо стабилна геометрија дури и кога е подложена на повторени и драстични температурни флуктуации, спречувајќи дефект на заптивката или концентрација на стрес предизвикани од термичка експанзија и контракција.
Издржливост:Неговата висока цврстина и цврстина ѝ даваат на цевката од печката одлични механички својства, што ја прави отпорна на деформација и оштетување.

Типична примена:

Производство на полупроводници:Епитаксијален раст на SiC/GaN (MOCVD, HTCVD), епитаксија базирана на силициум, дифузија/оксидација/жарење на висока температура (RTP) и LPCVD.

Фотоволтаична индустрија:Дифузија на висока температура (дифузија на фосфор/бор) и жарење на кристални силициумски сончеви ќелии.