सेमीकंडक्टर उद्योगात ग्रॅफाइट सामग्रीच्या गरजा विशेषतः जास्त असतात, ग्रॅफाइटच्या बारीक कणांमुळे उच्च अचूकता, उच्च तापमान प्रतिरोध, उच्च सामर्थ्य, कमी नुकसान आणि इतर फायदे मिळतात, जसे की: सिंटर्ड ग्रॅफाइट उत्पादनांचे साचे.सेमीकंडक्टर उद्योगात वापरल्या जाणाऱ्या ग्राफाइट उपकरणांना (हीटर्स आणि त्यांच्या सिंटर्ड डाईजसह) वारंवार होणाऱ्या तापविण्याच्या आणि थंड होण्याच्या प्रक्रियेला तोंड द्यावे लागत असल्यामुळे, ग्राफाइट उपकरणांचे सेवा आयुष्य वाढवण्यासाठी, वापरल्या जाणाऱ्या ग्राफाइट सामग्रीमध्ये स्थिर कार्यक्षमता आणि उष्णता-प्रतिरोधक आघात कार्यक्षमता असणे सामान्यतः आवश्यक असते.
०१ सेमीकंडक्टर क्रिस्टल वाढीसाठी ग्राफाइट उपकरणे
सेमीकंडक्टर क्रिस्टल्स वाढवण्यासाठी वापरल्या जाणाऱ्या सर्व प्रक्रिया उच्च तापमान आणि क्षरणकारी वातावरणात चालतात. क्रिस्टल ग्रोथ फर्नेसच्या हॉट झोनमध्ये सहसा उष्णतारोधक आणि क्षरणरोधक उच्च-शुद्धतेचे ग्रॅफाइट घटक बसवलेले असतात, जसे की हीटर, क्रुसिबल, इन्सुलेशन सिलेंडर, गाइड सिलेंडर, इलेक्ट्रोड, क्रुसिबल होल्डर, इलेक्ट्रोड नट, इत्यादी.
आम्ही क्रिस्टल उत्पादन उपकरणांचे सर्व ग्रॅफाइट भाग तयार करू शकतो, जे स्वतंत्रपणे किंवा संचांमध्ये पुरवले जाऊ शकतात, किंवा ग्राहकांच्या गरजेनुसार विविध आकारांचे सानुकूलित ग्रॅफाइट भागही बनवू शकतो. उत्पादनांचा आकार जागेवरच मोजला जाऊ शकतो आणि तयार उत्पादनांमधील राखेचे प्रमाण कमी असू शकते.5ppm पेक्षा जास्त.
०२ सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सीसाठी ग्राफाइट उपकरणे
एपिटॅक्सियल प्रक्रिया म्हणजे मूळ सब्सट्रेटवर, सब्सट्रेटसारखीच जाळी रचना असलेल्या एकल क्रिस्टल पदार्थाच्या थराची वाढ होणे. एपिटॅक्सियल प्रक्रियेमध्ये, वेफर ग्रॅफाइट डिस्कवर ठेवली जाते. वेफरच्या एपिटॅक्सियल थराच्या गुणवत्तेत ग्रॅफाइट डिस्कची कार्यक्षमता आणि गुणवत्ता महत्त्वाची भूमिका बजावतात. एपिटॅक्सियल उत्पादनाच्या क्षेत्रात, मोठ्या प्रमाणात अति-उच्च शुद्धतेचे ग्रॅफाइट आणि एसआयसी (SIC) कोटिंग असलेले उच्च शुद्धतेचे ग्रॅफाइट बेस आवश्यक असतात.
आमच्या कंपनीच्या सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सीसाठीच्या ग्राफाइट बेसला विस्तृत उपयोग आहेत, तो उद्योगात सामान्यतः वापरल्या जाणाऱ्या बहुतेक उपकरणांशी जुळतो आणि त्यात उच्च शुद्धता, एकसमान कोटिंग, उत्कृष्ट सेवा आयुष्य, तसेच उच्च रासायनिक प्रतिकारशक्ती आणि औष्णिक स्थिरता आहे.
०३ आयन इम्प्लांटेशनसाठी ग्राफाइट उपकरणे
आयन इम्प्लांटेशन म्हणजे बोरॉन, फॉस्फरस आणि आर्सेनिकच्या प्लाझ्मा बीमला एका विशिष्ट ऊर्जेपर्यंत प्रवेगित करून, नंतर पृष्ठभागाच्या थराचे भौतिक गुणधर्म बदलण्यासाठी त्याला वेफर मटेरियलच्या पृष्ठभागाच्या थरात इंजेक्ट करण्याची प्रक्रिया होय. आयन इम्प्लांटेशन उपकरणाचे घटक उत्कृष्ट उष्णता प्रतिरोध, औष्णिक वाहकता, आयन बीममुळे होणारा कमी क्षरण आणि कमी अशुद्धता असलेल्या उच्च-शुद्धतेच्या सामग्रीपासून बनवलेले असावेत. उच्च-शुद्धतेचा ग्रॅफाइट वापराच्या आवश्यकता पूर्ण करतो आणि त्याचा उपयोग आयन इम्प्लांटेशन उपकरणाच्या फ्लाइट ट्यूब, विविध स्लिट्स, इलेक्ट्रोड्स, इलेक्ट्रोड कव्हर्स, कंड्युइट्स, बीम टर्मिनेटर्स इत्यादींसाठी केला जाऊ शकतो.
आम्ही विविध आयन इम्प्लांटेशन मशीनसाठी केवळ ग्राफाइट शिल्डिंग कव्हरच नाही, तर विविध वैशिष्ट्यांचे उच्च गंज-प्रतिरोधक क्षमता असलेले उच्च-शुद्धतेचे ग्राफाइट इलेक्ट्रोड आणि आयन सोर्सदेखील पुरवतो. लागू होणारे मॉडेल्स: ईटन, अझसेलिस, क्वाटम, व्हेरियन, निसिन, एएमएटी, लॅम आणि इतर उपकरणे. याव्यतिरिक्त, आम्ही जुळणारे सिरॅमिक, टंगस्टन, मॉलिब्डेनम, ॲल्युमिनियम उत्पादने आणि कोटेड पार्ट्स देखील पुरवू शकतो.
०४ ग्राफाईट इन्सुलेशन साहित्य आणि इतर
सेमीकंडक्टर उत्पादन उपकरणांमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या औष्णिक निरोधक सामग्रीमध्ये ग्राफाइट हार्ड फेल्ट, सॉफ्ट फेल्ट, ग्राफाइट फॉइल, ग्राफाइट पेपर आणि ग्राफाइट रोप यांचा समावेश होतो.
आमचा सर्व कच्चा माल आयात केलेला ग्रॅफाइट आहे, जो ग्राहकांच्या गरजेनुसार विशिष्ट आकारात कापला जाऊ शकतो किंवा संपूर्ण विकला जाऊ शकतो.
सौर मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन आणि पॉलीक्रिस्टलाइन सिलिकॉन सेलच्या उत्पादन प्रक्रियेमध्ये फिल्म कोटिंगसाठी कार्बन-कार्बन ट्रेचा वाहक म्हणून वापर केला जातो. याचे कार्यतत्त्व असे आहे: सिलिकॉन चिप सीएफसी ट्रेमध्ये घालून फिल्म कोटिंगच्या प्रक्रियेसाठी भट्टीच्या नळीत पाठवली जाते.
