क्वार्ट्झ वेफर बोटसेमीकंडक्टर उत्पादन, फोटोव्होल्टेइक सेल उत्पादन आणि प्रगत सामग्री संशोधन व विकास यांमधील हे एक प्रमुख वाहक साधन आहे, जे उच्च-तापमान प्रक्रियांमध्ये स्थिर वेफर हस्तांतरण आणि स्थिती निश्चितीसाठी डिझाइन केलेले आहे. हे उत्पादन अति-उच्च शुद्धतेच्या फ्यूज्ड सिलिका (SiO2) पासून बनवलेले आहे, ज्यात उत्कृष्ट तापमान प्रतिरोध, रासायनिक स्थिरता आणि अत्यंत कमी धातू प्रदूषणाची वैशिष्ट्ये आहेत. हे डिफ्यूजन फर्नेस, ऑक्सिडेशन फर्नेस, PECVD/LPCVD आणि इतर उपकरणांसाठी योग्य असून, वेफर कोटिंग, आयन इम्प्लांटेशन, उच्च तापमान ॲनीलिंग आणि इतर मुख्य प्रक्रियांमध्ये मोठ्या प्रमाणावर वापरले जाते.
व्हीईटी एनर्जीच्या क्वार्ट्झ बोटीचे मुख्य फायदे:
- अत्यंत उच्च शुद्धतेचे साहित्य
शुद्धता ≥९९.९९%: अशुद्धतेचे प्रमाण (Na, K, Fe, इत्यादी) <५ppm, ज्यामुळे वेफर दूषित होणे टाळले जाते आणि चिप उत्पादनाची हमी मिळते.
कमी अवक्षेपण आणि अधिशोषण: कणांचे चिकटणे आणि वायूचा अवशेष कमी करण्यासाठी पृष्ठभाग अति-चकाकी दिलेला आहे (Ra≤0.4μm). - उच्च तापमान स्थिरता
तापमान मर्यादा: दीर्घकालीन कार्यरत तापमान १,१००℃, अल्पकालीन कमाल तापमान १,३००℃, कोणताही विरूपण नाही, स्फटिकांचे अवक्षेपण नाही.
कमी औष्णिक प्रसरण गुणांक (5.5x10-7/℃), उत्कृष्ट औष्णिक धक्का प्रतिरोध, जलद तापमान वाढ आणि घट प्रक्रियेसाठी अनुकूल (उदा. आरटीपी जलद ॲनीलिंग). - अचूक संरचनात्मक डिझाइन
स्लॉट अचूकता ±०.१ मिमी: २” ते १२” वेफर्स जुळवणे, अंतराच्या एकसमानतेतील त्रुटी <०.०५ मिमी, ज्यामुळे वेफर्समध्ये कोणताही ऑफसेट राहत नाही.
उच्च भार क्षमता: एकाच बोटमध्ये 50 वेफर्सचा (12” वेफर्सच्या स्वरूपात) कमाल भार, पातळ वेफर्सचे (≥100um) स्थिर हस्तांतरण समर्थित करते. - रासायनिक निष्क्रियता
क्षरण प्रतिरोध: आम्ल (एचएफ वगळता), अल्कली आणि सेंद्रिय द्रावकांमुळे होणाऱ्या क्षरणाला प्रतिरोधक, सीएमपी स्वच्छता प्रक्रियेशी सुसंगत.
उत्कृष्ट वायू रोधकता: गळतीचा दर <5x10-10 Pa.m3/s, निर्वात आणि संरक्षक वायू वातावरणासाठी उपयुक्त. - दीर्घायुष्य आणि देखभालक्षमता
आयुर्मान ≥ ५००० आवर्तने (सामान्य कार्यस्थितीत), पृष्ठभाग वारंवार स्वच्छ करून वापरता येतो, ज्यामुळे एकूण खर्च कमी होतो.
मॉड्यूलर डिझाइन: अंशतः बदलीस (उदा. एका बोट टूथ) समर्थन देते, ज्यामुळे डाउनटाइम कमी होतो.
आम्ही ग्राहकांच्या गरजेनुसार पारदर्शक आणि अपारदर्शक असे दोन्ही प्रकारचे पृष्ठभाग उपलब्ध करून देतो.
निंगबो व्हीईटी एनर्जी टेक्नॉलॉजी कंपनी लिमिटेड हा उच्च-तंत्रज्ञान असलेला उद्योग आहे, जो उच्च श्रेणीच्या प्रगत सामग्रीच्या उत्पादन आणि विक्रीवर लक्ष केंद्रित करतो. यामध्ये ग्रॅफाइट, सिलिकॉन कार्बाइड, सिरॅमिक्स, तसेच एसआयसी कोटिंग, टॅक कोटिंग, ग्लासी कार्बन कोटिंग, पायरोलिटिक कार्बन कोटिंग इत्यादी पृष्ठभाग प्रक्रिया यांसारख्या सामग्री आणि तंत्रज्ञानाचा समावेश आहे. या उत्पादनांचा वापर फोटोव्होल्टेइक, सेमीकंडक्टर, नवीन ऊर्जा, धातुशास्त्र इत्यादी क्षेत्रांमध्ये मोठ्या प्रमाणावर केला जातो.
आमची तांत्रिक टीम देशातील अग्रगण्य संशोधन संस्थांमधून आलेली असून, त्यांनी उत्पादनाची कार्यक्षमता आणि गुणवत्ता सुनिश्चित करण्यासाठी अनेक पेटंटेड तंत्रज्ञान विकसित केले आहेत, तसेच ते ग्राहकांना व्यावसायिक मटेरियल सोल्यूशन्स देखील देऊ शकतात.
