प्लाझ्मा एचिंगसाठी असलेली सीव्हीडी कोटिंग फोकस रिंग ही प्रगत सेमीकंडक्टर एचिंग सिस्टीममध्ये वापरली जाणारी एक महत्त्वपूर्ण उपभोग्य वस्तू आहे. सबस्ट्रेट + सीव्हीडी कोटिंगच्या संयुक्त संरचनेने तयार केलेले हे उत्पादन, प्लाझ्माचे वितरण अनुकूल करण्यासाठी, एचिंगची एकसमानता सुधारण्यासाठी आणि चेंबरमधील घटकांचे आयुष्य वाढवण्यासाठी डिझाइन केलेले आहे.
वेट एनर्जीमध्ये, आम्ही केमिकल व्हेपर डिपॉझिशन (CVD) तंत्रज्ञान आणि प्रगत सिरॅमिक सामग्रीमधील आमच्या सखोल कौशल्याचा उपयोग करून, फिनफेट (FinFET) आणि ३डी नँड (3D NAND) प्रक्रियांसह आधुनिक सेमीकंडक्टर नोड्सच्या कठोर आवश्यकता पूर्ण करणाऱ्या फोकस रिंग्स तयार करतो.
प्लाझ्मा एचिंगमध्ये फोकस रिंगची भूमिका
प्लाझ्मा एचिंग सिस्टीममध्ये (जसे की ICP आणि CCP रिॲक्टर), फोकस रिंग वेफरच्या कडेभोवती ठेवली जाते आणि ती प्रक्रियेची स्थिरता व उत्पादनक्षमतेमध्ये महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावते.
१. प्लाझ्मा एकसमानता नियंत्रण
फोकस रिंग ही एक विद्युत आणि भौतिक सीमा म्हणून कार्य करते, जी वेफरच्या पृष्ठभागावर प्लाझ्मा घनतेचे वितरण नियंत्रित करण्यास मदत करते.
मुख्य फायदे:
● एच रेटची सुधारित एकसमानता
● केंद्रापासून कडेपर्यंतची तफावत कमी झाली
● सुधारित प्रक्रिया पुनरावृत्तीक्षमता
२. एज इफेक्ट कॉम्पेन्सेशन
फोकस रिंगशिवाय, वेफरच्या कडेला प्लाझ्मा शीथच्या विकृतीमुळे असमान एचिंग होऊ शकते.
फोकस रिंग प्रभावीपणे "व्हर्च्युअल वेफर एक्स्टेंशन" म्हणून कार्य करते, ज्यामुळे कडे-संबंधित त्रुटी कमी होतात, जसे की:
● वेफरच्या कडांवर जास्त एचिंग होणे
● क्रांतिक परिमाण (CD) विचलन
● प्रोफाइल विकृती
३. आयन मार्गक्रमण आणि ऊर्जा नियंत्रण
स्थानिक विद्युत क्षेत्रावर प्रभाव टाकून, फोकस रिंग आयन आपतन कोन आणि ऊर्जा वितरण स्थिर करण्यास मदत करते, जे यासाठी महत्त्वपूर्ण आहे:
● उच्च गुणोत्तर (HAR) एचिंग
● अनिसोट्रॉपिक प्रोफाइल नियंत्रण
● बाजूच्या भिंतीचे नुकसान कमी झाले
४. कक्षाचे संरक्षण आणि दूषितीकरण कमी करणे
एक बलिदानी घटक म्हणून, फोकस रिंग थेट प्लाझ्माचा संपर्क आणि संचयन उप-उत्पादने शोषून घेते.
परिणामी फायदे:
● चेंबरच्या भिंतींची झीज कमी होते
● कमी कण प्रदूषण
● विस्तारित देखभाल चक्र (पीएम अंतराल)
