SiC örtükli grafit MOCVD wafer daşaýjylary, SiC epitaksiýasy üçin grafit susseptorlary

Gysgaça düşündiriş:

Ýarymgeçirijiler üçin grafit substratynyň SiC örtügi ýokary arassalyga we oksidleşýän atmosfera garşylykly bölegi öndürýär. CVD SiC ýa-da CVI SiC ýönekeý ýa-da çylşyrymly dizaýn bölekleriniň grafitine ulanylýar. Örtük dürli galyňlyklarda we örän uly böleklere ulanylyp bilner.


  • Gelip çykan ýeri:Zhejiang, Hytaý (materik)
  • Model belgisi:Model belgisi:
  • Himiki düzümi:SiC bilen örtülen grafit
  • Bükülme güýji:470Mpa
  • Ýylylyk geçirijiligi:300 W/mK
  • Hil:Kämil
  • Funksiýa:CVD-SiC
  • Ulanyş:Ýarymgeçiriji / Fotowoltaik
  • Dykyzlyk:3.21 g/sm³
  • Termal giňelme:4 10-6/K
  • Kül: <5ppm
  • Nusga:Elýeterli
  • HS kody:6903100000
  • Önümiň jikme-jiklikleri

    Önümiň tegleri

    SiC örtük grafit MOCVD wafer daşaýjylary, grafit susseptorlary üçinSiC Epitaksiýasy,
    Uglerod susseptorlary üpjün edýär, Grafit epitaksiýa susseptorlary, Grafit goldaw substratlary, MOCVD Susseptory, SiC Epitaksiýasy, Wafer Susseptorlary,

    Önümiň düşündirişi

    SiC bilen örtülen grafit susseptorlarymyzyň aýratyn artykmaçlyklary örän ýokary arassalygy, birmeňzeş örtügi we ajaýyp hyzmat möhletini öz içine alýar. Şeýle hem, olar ýokary himiki garşylyga we termal durnuklylyk häsiýetlerine eýedirler.

    Ýarymgeçirijiler üçin grafit substratynyň SiC örtügi, ýokary arassalyga we oksidleşýän atmosfera garşylykly bölegi öndürýär.
    CVD SiC ýa-da CVI SiC ýönekeý ýa-da çylşyrymly dizaýn bölekleriniň grafitine ulanylýar. Örtük dürli galyňlyklarda we örän uly böleklere ulanylyp bilner.

    SiC örtügi/örtükli MOCVD Susceptor

    Aýratynlyklar:
    · Termal şoka ajaýyp garşylyk
    · Ajaýyp fiziki şoka garşylyk
    · Ajaýyp himiki garşylyk
    · Super Ýokary Arassalyk
    · Çylşyrymly görnüşde elýeterlilik
    · Oksidleşdiriji atmosferada ulanylyp bilner

    Ulanyş:

    2

     

    Esasy grafit materialynyň tipik häsiýetleri:

    Görünýän dykyzlyk: 1.85 g/sm3
    Elektrik garşylygy: 11 μΩm
    Bükülme güýji: 49 MPa (500kgf/sm2)
    Kenaryň berkligi: 58
    Kül: <5ppm
    Ýylylyk geçirijiligi: 116 W/mK (100 kkal/mhr-℃)

    Uglerod susseptorlary üpjün edýärwe häzirki epitaksiýa reaktorlarynyň ählisi üçin grafit bölekleri. Biziň portfelimize ulanylýan we LPE enjamlary üçin barrel susseptorlary, LPE, CSD we Gemini enjamlary üçin blinçik susseptorlary, şeýle hem ulanylýan we ASM enjamlary üçin bir waferli susseptorlar girýär. Öňdebaryjy OEM-ler bilen berk hyzmatdaşlygy, materiallar boýunça tejribäni we önümçilik bilimlerini utgaşdyrmak arkaly SGL siziň ulanyşyňyz üçin iň gowy dizaýny hödürleýär.

     


  • Öňki:
  • Indiki:

  • WhatsApp-da onlaýn söhbetdeşlik!