Gözenekli Tantal Karbür Kaplı Grafit Halka

Gözenekli Tantal Karbür Kaplı Grafit Halka
Gözenekli tantal karbür (TaC) kaplı grafitYarı iletken üretiminin yüksek sıcaklık ve yüksek derecede aşındırıcı ortamları için özel olarak geliştirilmiş önemli bir malzemedir. Alt tabakası, kimyasal buhar biriktirme (CVD) yöntemiyle homojen gözenekli tantal karbür kaplama ile kaplanmış yüksek saflıkta izostatik grafittir. TaC, son derece yüksek bir sertliğe (Mohs ölçeğinde 9-10) ve 3880°C erime noktasına sahiptir. Grafitin mükemmel termal kararlılığı ve hafifliği ile birleştiğinde, bu malzeme yüksek sıcaklık dayanımını kimyasal saldırılara ve termal şoka karşı dirençle birleştirerek, aşırı koşullar altında çalışan yarı iletken işlem ekipmanları için ideal bir seçim haline gelir.

Gözenekli Tantal Karbür Grafitin Avantajları:
1. Ultra Yüksek Korozyon Direnci
-TaC kimyasal olarak inerttir ve flor ve klor gibi halojenlerden kaynaklanan korozyona etkili bir şekilde direnç göstererek ekipman ömrünü önemli ölçüde uzatır.
-Gözenekli yapı, kaplamanın yüzey alanını artırarak daha sağlam bir koruyucu bariyer oluşturur ve parçacık dökülme riskini azaltır.
2. Mükemmel Yüksek Sıcaklık Kararlılığı
Erime noktası 4000°C'ye yaklaşan bu malzeme, vakumda veya 2500°C'nin üzerindeki inert ortamlarda uzun süre çalışabilir.
- Kaplamanın termal genleşme katsayısı, grafitin termal genleşme katsayısıyla son derece uyumludur; bu da termal döngülerden kaynaklanan çatlama ve katman ayrılmasını önler.
3. Yüksek Saflık ve Düşük Kirlilik
-Yarı iletken sınıfı ham maddeler ve işlemler kullanılarak, metal safsızlık içeriği son derece düşüktür ve bu da gofret kirlenmesi riskini önemli ölçüde azaltır.
-Yüzey yoğun ve kimyasal olarak kararlıdır, bu da partikül oluşumunu azaltır ve katı temiz oda standartlarını karşılar.
4. Özel Tasarım
Karmaşık şekiller müşteri çizimlerine göre üretilebilir ve optimum gaz akışı ve ısı iletkenliği elde etmek için gözeneklilik ve kaplama kalınlığı kontrol edilebilir.
5. Uzun Ömür ve Düşük Bakım Maliyeti
Gözenekli TaC kaplamaların son derece yüksek korozyon ve aşınma direnci, geleneksel grafite kıyasla bileşen ömrünü 3-5 kat artırarak değiştirme sıklığını ve bakım maliyetlerini azaltır.

Ana Uygulamalar
1. Yonga levha üretiminin temel bileşenleri
- CVD/ALD ekipmanları için reaksiyon odası astarları, bölmeler ve duş başlığı
- PVD hedefi destekler
- Difüzyon, oksidasyon, tavlama ve diğer işlemler için yüksek sıcaklık proses bileşenleri
2. Kimyasal buhar biriktirme sistemleri
- İşlem sırasında yüksek derecede aşındırıcı ortamlarda (florürler ve klorürler gibi) temel bileşenlerin korunması
3. Diğer yüksek sıcaklıkta aşındırıcı ortamlar
- Kimyasal gaz saflaştırma, özel ısıl işlem fırınları ve diğer uygulamalar için uygundur.