VET Energy grafit gofret botu, yarı iletken, fotovoltaik ve diğer endüstrilerdeki biriktirme işlemleri için özel olarak tasarlanmış yüksek kaliteli bir sarf malzemesidir. Yüksek saflıkta, yüksek yoğunluklu grafit malzemeden üretilen bu ürün, mükemmel yüksek sıcaklık direncine, korozyon direncine, boyut kararlılığına ve diğer özelliklere sahiptir ve ince film biriktirmenin düzgünlüğünü ve düzlüğünü sağlamak için biriktirme işlemi için kararlı bir taşıyıcı platform sağlayabilir.
VET Energy'nin PECVD grafit teknesi, %15'in altında gözeneklilik ve Ra≤1.6μm yüzey pürüzlülüğüne sahip yüksek saflıkta izostatik grafitten üretilmiştir. Üstün boyutsal kararlılık ve termal iletkenlik, düzgün film birikimi ve gelişmiş hücre verimliliği sağlar.
SGL'den grafit malzemesi:
| Tipik parametre: R6510 | |||
| Dizin | Test standardı | Değer | Birim |
| Ortalama tane boyutu | ISO 13320 | 10 | mikron |
| Yığın yoğunluğu | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| Açık gözeneklilik | DIN66133 | 10 | % |
| Orta gözenek boyutu | DIN66133 | 1.8 | mikron |
| Geçirgenlik | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
| Rockwell sertliği HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Özgül elektriksel direnç | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Eğilme dayanımı | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Basınç dayanımı | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Young modülü | DIN 51915 | 11,5×10³ | MPa |
| Termal genleşme (20-200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Isı iletkenliği (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Özellikle yüksek verimli güneş hücresi üretimi için tasarlanmıştır ve G12 büyük boyutlu gofret işlemeyi destekler. Optimize edilmiş taşıyıcı tasarımı, verimi önemli ölçüde artırarak daha yüksek verim oranları ve daha düşük üretim maliyetleri sağlar.
| Öğe | Tip | Sayı gofret taşıyıcısı |
| PEVCD Grephite teknesi - 156 serisi | 156-13 grefit teknesi | 144 |
| 156-19 grefit teknesi | 216 | |
| 156-21 grefit teknesi | 240 | |
| 156-23 grafit tekne | 308 | |
| PEVCD Grephite teknesi - 125 serisi | 125-15 grefit tekne | 196 |
| 125-19 grefit teknesi | 252 | |
| 125-21 grfit tekne | 280 |
