Grafietwaferboot vir afsetting

Grafietwafelboot vir afsetting Uitgeligte beeld

Kort beskrywing:

VET Energy grafietwafelboot is 'n hoëgehalte-verbruikbare materiaal wat spesiaal ontwerp is vir afsettingsprosesse in halfgeleier-, fotovoltaïese en ander nywerhede. Hierdie produk, gemaak van hoë-suiwerheid, hoë-digtheid grafietmateriaal, het uitstekende hoë temperatuurweerstand, korrosieweerstand, dimensionele stabiliteit en ander eienskappe, en kan 'n stabiele draerplatform vir die afsettingsproses bied om die eenvormigheid en platheid van dunfilmafsetting te verseker.

Stuur e-pos aan ons Laai af as PDF

Produkbesonderhede

Produk-etikette

Die PECVD-grafietboot van VET Energy word vervaardig met hoë-suiwerheid isostatiese grafiet, met porositeit van minder as 15% en oppervlakruheid Ra≤1.6μm. Die superieure dimensionele stabiliteit en termiese geleidingsvermoë verseker eenvormige filmafsetting en verbeterde seldoeltreffendheid.

Grafietmateriaal van SGL:

Tipiese parameter: R6510
Indeks	Toetsstandaard	Waarde	Eenheid
Gemiddelde korrelgrootte	ISO 13320	10	μm
Grootmaatdigtheid	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Oop porositeit	DIN66133	10	%
Medium poriegrootte	DIN66133	1.8	μm
Deurlaatbaarheid	DIN 51935	0.06	cm²/s
Rockwell-hardheid HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Spesifieke elektriese weerstand	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Buigsterkte	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Druksterkte	DIN 51910	130	MPa
Young se modulus	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Termiese uitbreiding (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Termiese geleidingsvermoë (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Dit is spesifiek ontwerp vir hoë-doeltreffendheid sonselvervaardiging, wat G12 grootskaalse waferverwerking ondersteun. Geoptimaliseerde draerontwerp verhoog die deurset aansienlik, wat hoër opbrengskoerse en laer produksiekoste moontlik maak.

Item	Tipe	Nommerwafeldraer
PEVCD Grephite-boot - Die 156-reeks	156-13 grepietboot	144
	156-19 grepietboot	216
	156-21 grepietboot	240
	156-23 grafietboot	308
PEVCD Grephite-boot - Die 125-reeks	125-15 grepietboot	196
	125-19 grepietboot	252
	125-21 grafietboot	280