Barco de obleas de grafito para deposición

Barquiño de obleas de grafito para deposición Imaxe destacada

Descrición curta:

A oblea de grafito VET Energy é un consumible de alta calidade deseñado para procesos de deposición en semicondutores, fotovoltaica e outras industrias. Fabricado con material de grafito de alta pureza e alta densidade, este produto ten unha excelente resistencia a altas temperaturas, resistencia á corrosión, estabilidade dimensional e outras características, e pode proporcionar unha plataforma de soporte estable para o proceso de deposición para garantir a uniformidade e a planitude da deposición de película fina.

Envíanos un correo electrónico Descargar como PDF

Detalle do produto

Etiquetas do produto

A barca de grafito PECVD de VET Energy está fabricada con grafito isostático de alta pureza, cunha porosidade inferior ao 15 % e unha rugosidade superficial Ra ≤ 1,6 μm. A estabilidade dimensional e a condutividade térmica superiores garanten unha deposición uniforme da película e unha eficiencia celular mellorada.

Material de grafito de SGL:

Parámetro típico: R6510
Índice	Estándar de proba	Valor	Unidade
Tamaño medio do gran	ISO 13320	10	μm
densidade aparente	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Porosidade aberta	DIN66133	10	%
Tamaño medio dos poros	DIN66133	1.8	μm
Permeabilidade	DIN 51935	0,06	cm²/s
Dureza Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
resistividade eléctrica específica	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Resistencia á flexión	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Resistencia á compresión	DIN 51910	130	MPa
Módulo de Young	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Expansión térmica (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Condutividade térmica (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Está deseñado especificamente para a fabricación de células solares de alta eficiencia, o que permite o procesamento de obleas de gran tamaño G12. O deseño optimizado do portador aumenta significativamente o rendemento, o que permite taxas de rendemento máis altas e custos de produción máis baixos.

Elemento	Tipo	Número de portador de obleas
Barco de grefita PEVCD - A serie 156	Barco de grefita 156-13	144
	Barco de grefita 156-19	216
	Barco de grefita 156-21	240
	Barco de grafito 156-23	308
Barco Grephite PEVCD - A serie 125	Barco de grefita 125-15	196
	Barco de grefito 125-19	252
	Barco de grafito 125-21	280