PECVD Grafietwafelondersteuning

Kort beskrywing:

VET Energy se grafietwafelondersteuning is ontwerp vir presisie en werkverrigting en is die ideale materiaal vir gebruik in gevorderde wafelverwerking, waar hoë termiese stabiliteit en konsekwente werkverrigting krities is. Of u nou met halfgeleierwafels of ander delikate substrate werk, hierdie hoëgehalte grafietondersteuning sal u prosesbetroubaarheid en produkgehalte verbeter, wat dit 'n onontbeerlike komponent vir moderne vervaardiging maak.

Stuur e-pos aan ons Laai af as PDF

Produkbesonderhede

Produk-etikette

VET Energy PECVD-proses grafietwafelondersteuning is 'n kernverbruikbare materiaal wat ontwerp is vir die PECVD-proses (plasma-versterkte chemiese dampafsetting). Hierdie produk is gemaak van hoë-suiwerheid, hoë-digtheid grafietmateriaal, met uitstekende hoë temperatuurweerstand, korrosieweerstand, dimensionele stabiliteit en ander eienskappe, en kan 'n stabiele ondersteuningsplatform vir die PECVD-proses bied om die eenvormigheid en platheid van filmafsetting te verseker.

Die "grafietondersteuning"-ontwerp van VET Energy se grafietwafelondersteuning kan nie net die wafel effektief ondersteun nie, maar ook termiese stabiliteit in die hoë temperatuur- en hoëdruk-PECVD-omgewing bied om die stabiliteit van die proses te verseker.

VET Energy PECVD-proses grafietwafelondersteuning het die volgende eienskappe:

▪Hoë suiwerheid:uiters lae onsuiwerheidsinhoud, vermy besoedeling van die film, om die kwaliteit van die film te verseker.

▪Hoë digtheid:hoë digtheid, hoë meganiese sterkte, kan hoë temperatuur en hoë druk PECVD-omgewing weerstaan.

▪Goeie dimensionele stabiliteit:klein dimensionele veranderinge by hoë temperatuur om die stabiliteit van die proses te verseker.

▪Uitstekende termiese geleidingsvermoë:dra hitte effektief oor om oorverhitting van die wafer te voorkom.

▪Sterk korrosiebestandheid:In staat om erosie deur verskeie korrosiewe gasse en plasma te weerstaan.

▪Gepasmaakte diens:Grafietondersteuningstafels van verskillende groottes en vorms kan volgens die kliënt se behoeftes aangepas word.

Grafietmateriaal van SGL:

Tipiese parameter: R6510
Indeks	Toetsstandaard	Waarde	Eenheid
Gemiddelde korrelgrootte	ISO 13320	10	μm
Grootmaatdigtheid	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Oop porositeit	DIN66133	10	%
Medium poriegrootte	DIN66133	1.8	μm
Deurlaatbaarheid	DIN 51935	0.06	cm²/s
Rockwell-hardheid HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Spesifieke elektriese weerstand	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Buigsterkte	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Druksterkte	DIN 51910	130	MPa
Young se modulus	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Termiese uitbreiding (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Termiese geleidingsvermoë (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Dit is spesifiek ontwerp vir hoë-doeltreffendheid sonselvervaardiging, wat G12 grootskaalse waferverwerking ondersteun. Geoptimaliseerde draerontwerp verhoog die deurset aansienlik, wat hoër opbrengskoerse en laer produksiekoste moontlik maak.

Item	Tipe	Nommerwafeldraer
PEVCD Grephite-boot - Die 156-reeks	156-13 grepietboot	144
	156-19 grepietboot	216
	156-21 grepietboot	240
	156-23 grafietboot	308
PEVCD Grephite-boot - Die 125-reeks	125-15 grepietboot	196
	125-19 grepietboot	252
	125-21 grafietboot	280