VET Energy grafittwaferbåt er et forbruksmateriale av høy kvalitet som er skreddersydd for avsetningsprosesser i halvleder-, solcelle- og andre industrier. Produktet er laget av grafittmateriale med høy renhet og høy tetthet, og har utmerket høy temperaturbestandighet, korrosjonsbestandighet, dimensjonsstabilitet og andre egenskaper. Det kan gi en stabil bærerplattform for avsetningsprosessen for å sikre ensartethet og flathet i tynnfilmavsetningen.
PECVD-grafittbåten fra VET Energy er produsert med isostatisk grafitt med høy renhet, med porøsitet under 15 % og overflateruhet Ra≤1,6 μm. Den overlegne dimensjonsstabiliteten og varmeledningsevnen sikrer jevn filmavsetning og forbedret celleeffektivitet.
Grafittmateriale fra SGL:
| Typisk parameter: R6510 | |||
| Indeks | Teststandard | Verdi | Enhet |
| Gjennomsnittlig kornstørrelse | ISO 13320 | 10 | mikrometer |
| Bulktetthet | DIN IEC 60413/204 | 1,83 | g/cm²3 |
| Åpen porøsitet | DIN66133 | 10 | % |
| Middels porestørrelse | DIN66133 | 1.8 | mikrometer |
| Permeabilitet | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
| Rockwell-hardhet HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Spesifikk elektrisk resistivitet | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Bøyestyrke | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Trykkfasthet | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Youngs modul | DIN 51915 | 11,5 × 10³ | MPa |
| Termisk ekspansjon (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4,2X10-6 | K-1 |
| Varmeledningsevne (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Den er spesielt utviklet for høyeffektiv solcelleproduksjon, og støtter prosessering av store G12-wafere. Optimalisert bærerdesign øker gjennomstrømningen betydelig, noe som muliggjør høyere utbytte og lavere produksjonskostnader.
| Punkt | Type | Nummer waferbærer |
| PEVCD Grephite-båt - 156-serien | 156-13 grepittbåt | 144 |
| 156-19 grepittbåt | 216 | |
| 156-21 grepittbåt | 240 | |
| 156-23 grafittbåt | 308 | |
| PEVCD Grephite-båt - 125-serien | 125-15 grefittbåt | 196 |
| 125-19 grefittbåt | 252 | |
| 125-21 grafittbåt | 280 |
