Лодочка для графитовых пластин для осаждения

Изображение лодки из графитовых пластин для осаждения.

Краткое описание:

Графитовая подложка VET Energy — это высококачественный расходный материал, разработанный специально для процессов осаждения в полупроводниковой, фотоэлектрической и других отраслях промышленности. Изготовленная из высокочистого графита высокой плотности, эта подложка обладает превосходной термостойкостью, коррозионной стойкостью, стабильностью размеров и другими характеристиками, а также может обеспечить стабильную платформу-носитель для процесса осаждения, гарантируя равномерность и плоскостность осаждения тонких пленок.

Отправьте нам электронное письмо Скачать в формате PDF

Подробная информация о товаре

Метки товаров

Графитовая лодочка PECVD от VET Energy изготовлена из высокочистого изостатического графита с пористостью менее 15% и шероховатостью поверхности Ra≤1,6 мкм. Превосходная стабильность размеров и теплопроводность обеспечивают равномерное осаждение пленки и повышение эффективности ячейки.

Графитовый материал от SGL:

Типичный параметр: R6510
Индекс	Стандарт тестирования	Ценить	Единица
Средний размер зерна	ISO 13320	10	мкм
Объемная плотность	DIN IEC 60413/204	1.83	г/см³
Открытая пористость	DIN66133	10	%
Средний размер пор	DIN66133	1.8	мкм
Проницаемость	DIN 51935	0,06	см²/с
Твердость по Роквеллу HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Удельное электрическое сопротивление	DIN IEC 60413/402	13	мкОм
прочность на изгиб	DIN IEC 60413/501	60	МПа
Прочность на сжатие	DIN 51910	130	МПа
Модуль Юнга	DIN 51915	11,5×10³	МПа
Тепловое расширение (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Теплопроводность (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Она специально разработана для высокоэффективного производства солнечных элементов и поддерживает обработку крупногабаритных пластин G12. Оптимизированная конструкция носителя значительно увеличивает производительность, обеспечивая более высокий выход годной продукции и снижение производственных затрат.

Элемент	Тип	Номер носителя пластины
Судно Grephite с системой PEVCD — серия 156.	156-13 грефитская лодка	144
	156-19 грефитская лодка	216
	156-21 грефитская лодка	240
	156-23 графитовая лодка	308
Лодка Grephite с двигателем PEVCD — серия 125.	125-15 грефитская лодка	196
	125-19 грефитская лодка	252
	125-21 лодка из графита	280