Графитовая пластина для осаждения

Графитовая пластина-лодочка VET Energy — это высококачественный расходный материал, предназначенный для процессов осаждения в полупроводниковой, фотоэлектрической и других отраслях промышленности. Изготовленный из высокочистого, высокоплотного графитового материала, этот продукт обладает превосходной устойчивостью к высоким температурам, коррозионной стойкостью, размерной стабильностью и другими характеристиками, а также может обеспечить стабильную несущую платформу для процесса осаждения, чтобы гарантировать однородность и плоскостность осаждения тонкой пленки.

Графитовая лодочка PECVD от VET Energy изготовлена ​​из высокочистого изостатического графита с пористостью менее 15% и шероховатостью поверхности Ra≤1,6 мкм. Превосходная размерная стабильность и теплопроводность обеспечивают равномерное осаждение пленки и повышенную эффективность ячейки.