Barca di cialda di grafite per a deposizione

Descrizzione corta:

A barca di wafer di grafite VET Energy hè un consumabile di alta qualità adattatu per i prucessi di deposizione in l'industrie di semiconduttori, fotovoltaiche è altre. Fattu di materiale di grafite di alta purezza è alta densità, questu pruduttu hà una eccellente resistenza à alta temperatura, resistenza à a corrosione, stabilità dimensionale è altre caratteristiche, è pò furnisce una piattaforma di supportu stabile per u prucessu di deposizione per assicurà l'uniformità è a planarità di a deposizione di film sottili.

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A barca di grafite PECVD di VET Energy hè fabbricata cù grafite isostatica di alta purezza, cù una porosità inferiore à u 15% è una rugosità superficiale Ra≤1.6μm. A stabilità dimensionale superiore è a cunduttività termica assicuranu una deposizione uniforme di u film è una migliore efficienza cellulare.

Materiale di grafite da SGL:

Parametru tipicu: R6510
Indice	Norma di prova	Valore	Unità
Dimensione media di i grani	ISO 13320	10	μm
Densità apparente	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Porosità aperta	DIN66133	10	%
Dimensione media di i pori	DIN66133	1.8	μm
Permeabilità	DIN 51935	0,06	cm²/s
Durezza Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Resistività elettrica specifica	DIN IEC 60413/402	13 anni	μΩm
Resistenza à a flessione	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Resistenza à a cumpressione	DIN 51910	130	MPa
Modulu di Young	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Espansione termica (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Cunduttività termica (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Hè specificamente cuncipitu per a fabricazione di cellule solari à alta efficienza, supportendu u processu di wafer di grande dimensione G12. U cuncepimentu ottimizatu di u trasportatore aumenta significativamente u rendimentu, permettendu tassi di rendimentu più elevati è costi di pruduzzione più bassi.

Articulu	Tipu	Numeru di purtatore di wafer
Barca PEVCD Grephite - A serie 156	156-13 barca di grefite	144
	156-19 barca di grefite	216
	156-21 barca di grefite	240
	156-23 barca di grafite	308
Barca PEVCD Grephite - A serie 125	Barca di grefite 125-15	196
	Barca di grefite 125-19	252
	Barca in grafite 125-21	280