Barrera de oblea de grafito para deposición

Imagen destacada: Barcaza de grafito para la deposición de obleas

Breve descripción:

La barquilla de grafito para obleas de VET Energy es un consumible de alta calidad diseñado específicamente para procesos de deposición en las industrias de semiconductores, fotovoltaica y otras. Fabricada con grafito de alta pureza y densidad, este producto posee una excelente resistencia a altas temperaturas, a la corrosión y una gran estabilidad dimensional, además de proporcionar una plataforma de soporte estable para el proceso de deposición, garantizando así la uniformidad y planitud de la deposición de películas delgadas.

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Detalles del producto

Etiquetas de producto

La barquilla de grafito PECVD de VET Energy está fabricada con grafito isostático de alta pureza, con una porosidad inferior al 15 % y una rugosidad superficial Ra≤1,6 μm. Su excelente estabilidad dimensional y conductividad térmica garantizan una deposición uniforme de la película y una mayor eficiencia de la celda.

Material de grafito de SGL:

Parámetro típico: R6510
Índice	Estándar de prueba	Valor	Unidad
Tamaño medio del grano	ISO 13320	10	μm
Densidad aparente	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Porosidad abierta	DIN66133	10	%
Tamaño de poro medio	DIN66133	1.8	μm
Permeabilidad	DIN 51935	0,06	cm²/s
Dureza Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
resistividad eléctrica específica	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Resistencia a la flexión	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Resistencia a la compresión	DIN 51910	130	MPa
Módulo de Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Expansión térmica (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Conductividad térmica (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Está diseñado específicamente para la fabricación de células solares de alta eficiencia, compatible con el procesamiento de obleas de gran tamaño G12. El diseño optimizado del soporte aumenta significativamente el rendimiento, lo que permite mayores tasas de producción y menores costos.

Artículo	Tipo	Portador de oblea numérica
Embarcación PEVCD Grephite - Serie 156	Barco de grefita 156-13	144
	Barco de grefita 156-19	216
	Barco de grefita 156-21	240
	Barco de grafito 156-23	308
Embarcación PEVCD Grephite - Serie 125	Barco de grefito 125-15	196
	Barco de grefito 125-19	252
	Barco de grafito 125-21	280