Barco de obleas de grafito para deposición

Imagen destacada de una nave de obleas de grafito para deposición

Descripción breve:

La navecilla de obleas de grafito de VET Energy es un consumible de alta calidad, ideal para procesos de deposición en las industrias de semiconductores, fotovoltaica y otras. Fabricada con grafito de alta pureza y alta densidad, este producto ofrece excelente resistencia a altas temperaturas, resistencia a la corrosión, estabilidad dimensional y otras características, proporcionando una plataforma de soporte estable para el proceso de deposición, garantizando la uniformidad y planitud de la deposición de películas delgadas.

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Detalle del producto

Etiquetas de productos

La nave de grafito PECVD de VET Energy está fabricada con grafito isostático de alta pureza, con una porosidad inferior al 15 % y una rugosidad superficial de Ra ≤ 1,6 μm. Su excelente estabilidad dimensional y conductividad térmica garantizan una deposición uniforme de la película y una mayor eficiencia de la celda.

Material de grafito de SGL:

Parámetro típico: R6510
Índice	Estándar de prueba	Valor	Unidad
Tamaño medio de grano	ISO 13320	10	micras
Densidad aparente	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Porosidad abierta	DIN66133	10	%
Tamaño de poro medio	DIN66133	1.8	micras
Permeabilidad	DIN 51935	0.06	cm²/s
Dureza Rockwell HR5/100	Norma DIN IEC60413/303	90	HR
Resistividad eléctrica específica	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Resistencia a la flexión	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Resistencia a la compresión	DIN 51910	130	MPa
Módulo de Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Expansión térmica (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Conductividad térmica (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Está diseñado específicamente para la fabricación de células solares de alta eficiencia, compatible con el procesamiento de obleas G12 de gran tamaño. El diseño optimizado del portador aumenta significativamente el rendimiento, lo que permite un mayor rendimiento y menores costos de producción.

Artículo	Tipo	Número de portador de obleas
Embarcación PEVCD Grephite - Serie 156	156-13 barco de grefitos	144
	156-19 barco de grefitos	216
	156-21 barco de grefitos	240
	Barco de grafito 156-23	308
Embarcación PEVCD Grephite - Serie 125	Barco de grefito 125-15	196
	Barco de grefitos 125-19	252
	Barco de grafito 125-21	280