VET Energy grafitwaferbåt är en högkvalitativ förbrukningsvara skräddarsydd för deponeringsprocesser inom halvledar-, solcells- och andra industrier. Produkten är tillverkad av högrent grafitmaterial med hög densitet och har utmärkt högtemperaturbeständighet, korrosionsbeständighet, dimensionsstabilitet och andra egenskaper. Den kan tillhandahålla en stabil bärarplattform för deponeringsprocessen för att säkerställa enhetlighet och planhet i tunnfilmsdeponeringen.
PECVD-grafitbåten från VET Energy är tillverkad av isostatisk grafit med hög renhet, med en porositet under 15 % och en ytjämnhet Ra≤1,6 μm. Den överlägsna dimensionsstabiliteten och värmeledningsförmågan säkerställer jämn filmavsättning och förbättrad celleffektivitet.
Grafitmaterial från SGL:
| Typisk parameter: R6510 | |||
| Index | Teststandard | Värde | Enhet |
| Genomsnittlig kornstorlek | ISO 13320 | 10 | μm |
| Skrymdensitet | DIN IEC 60413/204 | 1,83 | g/cm²3 |
| Öppen porositet | DIN66133 | 10 | % |
| Medelstor porstorlek | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Permeabilitet | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
| Rockwell-hårdhet HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Specifik elektrisk resistivitet | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Böjhållfasthet | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Tryckhållfasthet | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Youngs modul | DIN 51915 | 11,5×10³ | MPa |
| Termisk expansion (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4,2X10-6 | K-1 |
| Värmeledningsförmåga (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Den är specifikt utformad för högeffektiv tillverkning av solceller och stöder bearbetning av stora G12-wafers. Optimerad bärardesign ökar genomströmningen avsevärt, vilket möjliggör högre avkastning och lägre produktionskostnader.
| Punkt | Typ | Nummerskivorbärare |
| PEVCD Grephite-båt - 156-serien | 156-13 grefitbåt | 144 |
| 156-19 grefitbåt | 216 | |
| 156-21 grefitbåt | 240 | |
| 156-23 grafitbåt | 308 | |
| PEVCD Grephite-båt - 125-serien | 125-15 grefitbåt | 196 |
| 125-19 grefitbåt | 252 | |
| 125-21 grafitbåt | 280 |
