Grafietdraer vir PECVD-proses

Kort beskrywing:

VET EnergiePECVD Grafietboot vir Sonpanele is 'n gevorderde komponent wat spesifiek ontwerp is vir die produksie van hoëprestasie-sonpanele. Hierdie grafietboot, wat in Plasma-versterkte Chemiese Vaporafsetting (PECVD) prosesse gebruik word, verseker optimale materiaalhantering en eenvormige afsetting van dun films op sonselle. Dit is ontwerp vir presisie en duursaamheid en bied superieure termiese geleidingsvermoë, hoë korrosieweerstand en minimale kontaminasie, wat noodsaaklik is vir die produksie van doeltreffende, hoë kwaliteit sonpanele.

Stuur e-pos aan ons Laai af as PDF

Produkbesonderhede

Produk-etikette

VET EnergiePECVD-proses grafietdraer is 'n hoëgehalte-verbruikbare materiaal wat spesiaal vir die PECVD-proses (plasma-versterkte chemiese dampafsetting) gemaak is. Hierdie grafietdraer is gemaak van hoë-suiwerheid, hoë-digtheid grafietmateriaal, met uitstekende hoë temperatuurweerstand, korrosieweerstand, dimensionele stabiliteit en ander eienskappe, en kan 'n stabiele draerplatform vir die PECVD-proses bied om die eenvormigheid en platheid van dunfilmafsetting te verseker.

Grafietdraers vir die PECVD-proses het die volgende eienskappe:

▪ Hoë suiwerheid: uiters lae onsuiwerheidsinhoud, wat kontaminasie van die film vermy en filmgehalte verseker.

▪ Hoë digtheid: hoë digtheid, hoë meganiese sterkte, in staat om hoë temperatuur en hoë druk PECVD-omgewing te weerstaan.

▪ Goeie dimensionele stabiliteit: klein dimensionele verandering by hoë temperatuur, wat prosesstabiliteit verseker.

▪ Uitstekende termiese geleidingsvermoë: dra hitte effektief oor om oorverhitting van wafers te voorkom.

▪ Sterk korrosiebestandheid: in staat om erosie deur verskeie korrosiewe gasse en plasma te weerstaan.

▪ Gepasmaakte diens: grafietdraers van verskillende groottes en vorms kan volgens kliëntbehoeftes aangepas word.

Grafietmateriaal van SGL:

Tipiese parameter: R6510
Indeks	Toetsstandaard	Waarde	Eenheid
Gemiddelde korrelgrootte	ISO 13320	10	μm
Grootmaatdigtheid	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Oop porositeit	DIN66133	10	%
Medium poriegrootte	DIN66133	1.8	μm
Deurlaatbaarheid	DIN 51935	0.06	cm²/s
Rockwell-hardheid HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Spesifieke elektriese weerstand	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Buigsterkte	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Druksterkte	DIN 51910	130	MPa
Young se modulus	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Termiese uitbreiding (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Termiese geleidingsvermoë (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Dit is spesifiek ontwerp vir hoë-doeltreffendheid sonselvervaardiging, wat G12 grootskaalse waferverwerking ondersteun. Geoptimaliseerde draerontwerp verhoog die deurset aansienlik, wat hoër opbrengskoerse en laer produksiekoste moontlik maak.

Item	Tipe	Nommerwafeldraer
PEVCD Grephite-boot - Die 156-reeks	156-13 grepietboot	144
	156-19 grepietboot	216
	156-21 grepietboot	240
	156-23 grafietboot	308
PEVCD Grephite-boot - Die 125-reeks	125-15 grepietboot	196
	125-19 grepietboot	252
	125-21 grafietboot	280