Graphite Wafer Boat para sa Deposisyon

Gipili nga Hulagway sa Graphite Wafer Boat para sa Deposition

Mubo nga Deskripsyon:

Ang VET Energy graphite wafer boat usa ka taas og kalidad nga consumable nga gipahaom para sa mga proseso sa deposition sa semiconductor, photovoltaic ug uban pang mga industriya. Hinimo gikan sa taas og kaputli ug taas og densidad nga graphite nga materyal, kini nga produkto adunay maayo kaayong resistensya sa taas nga temperatura, resistensya sa kaagnasan, kalig-on sa dimensyon ug uban pang mga kinaiya, ug makahatag og lig-on nga carrier platform para sa proseso sa deposition aron masiguro ang pagkaparehas ug pagkapatag sa thin film deposition.

Padad-i kami og email I-download isip PDF

Detalye sa Produkto

Mga Tag sa Produkto

Ang PECVD graphite boat gikan sa VET Energy gihimo gamit ang high-purity isostatic graphite, nga adunay porosity nga ubos sa 15% ug surface roughness nga Ra≤1.6μm. Ang superior dimensional stability ug thermal conductivity nagsiguro sa uniporme nga film deposition ug gipauswag nga cell efficiency.

Materyal nga grapayt gikan sa SGL:

Kasagaran nga parametro: R6510
Indeks	Sumbanan sa pagsulay	Bili	Yunit
Kasagaran nga gidak-on sa lugas	ISO 13320	10	μm
Densidad sa kadaghanan	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Bukas nga porosidad	DIN66133	10	%
Medium nga gidak-on sa lungag	DIN66133	1.8	μm
Pagkamabalhinon	DIN 51935	0.06	cm²/s
Katig-a sa Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Piho nga resistensya sa kuryente	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Kusog sa pag-flex	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Kusog sa pag-compress	DIN 51910	130	MPa
Modulus ni Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Pagpalapad sa kainit (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Konduktibidad sa kainit (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Kini espesipikong gidisenyo alang sa high-efficiency solar cell manufacturing, nga nagsuporta sa G12 large-size wafer processing. Ang na-optimize nga carrier design makapausbaw pag-ayo sa throughput, nga makapahimo sa mas taas nga yield rates ug mas ubos nga gasto sa produksiyon.

Butang	Matang	Numero sa wafer carrier
PEVCD Grephite nga sakayan - Ang seryeng 156	156-13 nga sakayan nga grephite	144
	156-19 nga sakayan nga grephite	216
	156-21 nga sakayan nga grephite	240
	156-23 nga sakayan nga grapayt	308
PEVCD Grephite nga sakayan - Ang serye sa 125	125-15 nga sakayan nga grephite	196
	125-19 nga sakayan nga grephite	252
	125-21 nga sakayan nga griphite	280