Barca in wafer di grafite per deposizione

Barca in wafer di grafite per la deposizione Immagine in evidenza

Breve descrizione:

Il wafer in grafite di VET Energy è un materiale di consumo di alta qualità, studiato appositamente per i processi di deposizione nei settori dei semiconduttori, del fotovoltaico e di altri settori. Realizzato in grafite ad alta densità e purezza, questo prodotto offre un'eccellente resistenza alle alte temperature, alla corrosione, stabilità dimensionale e altre caratteristiche, e può fornire una piattaforma di supporto stabile per il processo di deposizione, garantendo l'uniformità e la planarità della deposizione di film sottili.

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La barca in grafite PECVD di VET Energy è realizzata con grafite isostatica ad alta purezza, con porosità inferiore al 15% e rugosità superficiale Ra≤1,6 μm. L'elevata stabilità dimensionale e la conduttività termica garantiscono una deposizione uniforme del film e una maggiore efficienza della cella.

Materiale in grafite di SGL:

Parametro tipico: R6510
Indice	Standard di prova	Valore	Unità
Granulometria media	Norma ISO 13320	10	micron
Densità apparente	Norma DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
porosità aperta	DIN66133	10	%
Pori di media grandezza	DIN66133	1.8	micron
Permeabilità	DIN 51935	0,06	cm²/s
Durezza Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Resistività elettrica specifica	Norma DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Resistenza alla flessione	Norma DIN IEC 60413/501	60	MPa
Resistenza alla compressione	DIN 51910	130	MPa
Modulo di Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Espansione termica (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Conduttività termica (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

È specificamente progettato per la produzione di celle solari ad alta efficienza, supportando la lavorazione di wafer di grandi dimensioni G12. Il design ottimizzato del supporto aumenta significativamente la produttività, consentendo rendimenti più elevati e costi di produzione inferiori.

Articolo	Tipo	Numero di wafer portante
Barca Grephite PEVCD - La serie 156	156-13 barca di grefite	144
	156-19 barca di grefite	216
	156-21 barca di grefite	240
	156-23 barca in grafite	308
Barca Grephite PEVCD - La serie 125	Barca grefite 125-15	196
	Barca grefita 125-19	252
	Barca in carbonio 125-21	280