Barca per wafer di grafite per la deposizione

Immagine in evidenza: Barca per wafer di grafite per deposizione

Breve descrizione:

La barchetta di grafite per wafer VET Energy è un materiale di consumo di alta qualità, progettato specificamente per i processi di deposizione nei settori dei semiconduttori, del fotovoltaico e altri. Realizzata in grafite ad alta purezza e densità, questa tecnologia offre un'eccellente resistenza alle alte temperature, alla corrosione, alla stabilità dimensionale e altre caratteristiche, fornendo una piattaforma di supporto stabile per il processo di deposizione, garantendo uniformità e planarità nella deposizione di film sottili.

Inviaci un'e-mail Scarica come PDF

Dettagli del prodotto

Etichette prodotto

La barchetta di grafite PECVD di VET Energy è realizzata con grafite isostatica ad elevata purezza, caratterizzata da una porosità inferiore al 15% e una rugosità superficiale Ra≤1,6μm. L'eccellente stabilità dimensionale e la conduttività termica garantiscono una deposizione uniforme del film e una maggiore efficienza della cella.

Materiale in grafite di SGL:

Parametro tipico: R6510
Indice	Standard di prova	Valore	Unità
Dimensione media dei grani	ISO 13320	10	μm
densità apparente	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Porosità aperta	DIN 66133	10	%
Pori di medie dimensioni	DIN 66133	1.8	μm
Permeabilità	DIN 51935	0,06	cm²/s
Durezza Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
resistività elettrica specifica	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Forza flessionale	DIN IEC 60413/501	60	MPa
resistenza alla compressione	DIN 51910	130	MPa
modulo di Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Dilatazione termica (20-200℃)	DIN 51909	4,2 x 10^-6	K^-1
Conduttività termica (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

È specificamente progettato per la produzione di celle solari ad alta efficienza, supportando la lavorazione di wafer di grandi dimensioni G12. Il design ottimizzato del supporto aumenta significativamente la produttività, consentendo rese più elevate e costi di produzione inferiori.

Articolo	Tipo	Porta wafer numerico
Barca in gres porcellanato PEVCD - Serie 156	156-13 barca di grefite	144
	156-19 barca in grephite	216
	156-21 barca in grephite	240
	Barca in grafite 156-23	308
Barca in gres porcellanato PEVCD - Serie 125	125-15 barca in grephite	196
	125-19 barca in grephite	252
	Barca in grafite 125-21	280