Graphit-Waferboot zur Abscheidung

Graphit-Waferboot für die Abscheidung. Ausgewähltes Bild

Kurze Beschreibung:

Das Graphit-Waferboot von VET Energy ist ein hochwertiges Verbrauchsmaterial für Abscheidungsprozesse in der Halbleiter-, Photovoltaik- und anderen Industrien. Hergestellt aus hochreinem, hochdichtem Graphitmaterial, zeichnet sich dieses Produkt durch hervorragende Temperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit, Dimensionsstabilität und weitere Eigenschaften aus und bietet eine stabile Trägerplattform für den Abscheidungsprozess, um die Gleichmäßigkeit und Ebenheit der Dünnschichtabscheidung zu gewährleisten.

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Produktdetail

Produkt Tags

Das PECVD-Graphitschiffchen von VET Energy wird aus hochreinem isostatischem Graphit mit einer Porosität von unter 15 % und einer Oberflächenrauheit von Ra ≤ 1,6 μm hergestellt. Die hervorragende Dimensionsstabilität und Wärmeleitfähigkeit gewährleisten eine gleichmäßige Filmabscheidung und einen verbesserten Zellwirkungsgrad.

Graphitwerkstoff von SGL:

Typischer Parameter: R6510
Index	Prüfnorm	Wert	Einheit
Durchschnittliche Korngröße	ISO 13320	10	μm
Schüttdichte	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Offene Porosität	DIN66133	10	%
Mittlere Porengröße	DIN66133	1.8	μm
Permeabilität	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwellhärte HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Spezifischer elektrischer Widerstand	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Biegefestigkeit	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Druckfestigkeit	DIN 51910	130	MPa
Elastizitätsmodul	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Wärmeausdehnung (20–200 °C)	DIN 51909	4,2 x 10^-6	K^-1
Wärmeleitfähigkeit (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Es wurde speziell für die Herstellung hocheffizienter Solarzellen entwickelt und unterstützt die Verarbeitung großer G12-Wafer. Das optimierte Trägerdesign erhöht den Durchsatz deutlich und ermöglicht höhere Erträge und niedrigere Produktionskosten.

Artikel	Typ	Nummer Waferträger
PEVCD Grephite Boot - Die 156er Serie	156-13 Grephitboot	144
	156-19 Grephitboot	216
	156-21 Grephite-Boot	240
	156-23 Graphitboot	308
PEVCD Grephite Boot - Die 125er Serie	125-15 Grephite-Boot	196
	125-19 Grephite-Boot	252
	125-21 Graphitboot	280