VET Energy의 흑연 웨이퍼 보트는 반도체, 태양광 및 기타 산업 분야의 증착 공정에 최적화된 고품질 소모품입니다. 고순도, 고밀도 흑연 소재로 제작된 이 제품은 우수한 내열성, 내식성, 치수 안정성 등의 특성을 지니고 있으며, 증착 공정에 안정적인 지지 플랫폼을 제공하여 박막 증착의 균일성과 평탄성을 보장합니다.
VET Energy의 PECVD 흑연 보트는 기공률이 15% 미만이고 표면 조도 Ra≤1.6μm인 고순도 등방성 흑연으로 제조됩니다. 탁월한 치수 안정성과 열전도율은 균일한 박막 증착과 향상된 셀 효율을 보장합니다.
SGL의 흑연 소재:
| 일반적인 매개변수: R6510 | |||
| 색인 | 시험 기준 | 값 | 단위 |
| 평균 입자 크기 | ISO 13320 | 10 | μm |
| 부피 밀도 | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| 개방형 다공성 | DIN66133 | 10 | % |
| 중간 크기 모공 | DIN66133 | 1.8 | μm |
| 침투성 | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
| 로크웰 경도 HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| 비전기저항 | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| 굽힘 강도 | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| 압축 강도 | DIN 51910 | 130 | MPa |
| 영률 | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| 열팽창(20~200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| 열전도율(20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
이 장비는 고효율 태양전지 제조를 위해 특별히 설계되었으며, G12 대형 웨이퍼 공정을 지원합니다. 최적화된 캐리어 설계로 처리량이 크게 증가하여 수율이 향상되고 생산 비용이 절감됩니다.
| 목 | 유형 | 웨이퍼 캐리어 번호 |
| PEVCD 그레파이트 보트 - 156 시리즈 | 156-13 그레파이트 보트 | 144 |
| 156-19 그레파이트 보트 | 216 | |
| 156-21 그레파이트 보트 | 240 | |
| 156-23 그래파이트 보트 | 308 | |
| PEVCD 그레파이트 보트 - 125 시리즈 | 125-15 그레파이트 보트 | 196 |
| 125-19 그레파이트 보트 | 252 | |
| 125-21 그래파이트 보트 | 280 |
